ИСТИНА

Амиров Ильдар Искандерович

доктор физико-математических наук

Ярославский Филиал федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института Российской академии наук (ЯФ ФТИАН РАН), заместитель директора по научной работе

Соавторы: Zimin S., Алов Н.В., Изюмов Д.С., Шумилов А.С., Gremenok V.F., Juskenas R., Mazaletskii L.A., Rappl P.H., Skapas M., Uvarov I.V., Zimin S., Zogg H., Бабушкин А.Д. показать полностью..., Бачурин В.И., Шуваев Н.О.

17 статей, 4 доклада на конференциях, 1 НИР

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 58, Scopus: 24

IstinaResearcherID (IRID): 7936142

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2020 Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда
    • Шумилов А.С., Амиров И.И.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва), № 9, с. 1-9 DOI
  • 
    • 2019 Plasma-assisted surface nanostructuring of epitaxial Pb1−x Sn x Te (0 ≤ x ≤ 1) films
    • Zimin S.P., Gorlachev E.S., Amirov I.I., Naumov V.V., Juskenas R., Skapas M., Abramof E., Rappl P.H.O
    • в журнале Semiconductor Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 34, № 9, с. 095001 DOI
  • 
    • 2018 Effect of Low-Energy Ion-Plasma Treatment on Residual Stresses in Thin Chromium Films
    • Babushkin A.S., Uvarov I.V., Amirov I.I.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 63, № 12, с. 1800-1807
  • 
    • 2018 Self-formation of a nanonet of fluorinated carbon nanowires on the Si surface by combined etching in fluorine-containing plasma
    • Amirov I.I., Gorlachev E.S., Mazaletskiy L.A., Izyumov M.O., Alov N.V.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 11, с. 1-7 DOI
  • 
    • 2018 The Formation of Hollow Lead Structures on the Surface of PbSe Films Treated in Argon Plasma
    • Zimin S.P., Amirov I.I., Naumov V.V., Guseva K.E.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 44, № 6, с. 518-521
  • • 2018 Распыление кремния и диоксида кремния низкоэнергетичными ионами плотной азотной и аргоновой плазмы
    • Бачурин В.И., Изюмов М.О., Амиров И.И., Шуваев Н.О.
    • в журнале Известия Российской академии наук. Серия физическая, том 82, № 2, с. 146-149 DOI
  • 
    • 2017 Surface nanostructuring of CuIn1-x Ga x Se2 films using argon plasma treatment
    • Zimin S.P., Gorlachev E.S., Mokrov D.A., Amirov I.I., Naumov V.V., Gremenok V.F., Juskenas R., Skapas M., Kim W.Y., Bente K., Chung Y.D.
    • в журнале Semiconductor Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 32, № 7, с. 075014 DOI
  • • 2017 Моделирование профиля травления высокоаспектных канавок в Si в хлорной плазме
    • Шумилов А.С., Амиров И.И., Лукичев В.Ф.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 46, № 5, с. 323-331 DOI
  • 
    • 2016 Changes in the conductivity of lead-selenide thin films after plasma etching
    • Zimin S.P., Amirov I.I., Naumov V.V.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 50, № 8, с. 1125-1129
  • • 2016 Низкоэнергетическое, селективное травление пленок металлов в плотной аргоновой плазме с добавками кислорода
    • АМИРОВ И.И., ИЗЮМОВ М.О., НАУМОВ В.В.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва), № 8, с. 82-86 DOI
  • 
    • 2015 Application of abnormally high sputtering rate of PbTe(Te) single crystals during inductively coupled argon plasma treatment for fabrication of nanostructures
    • Zimin S.P., Gorlachev E.S., Amirov I.I., Naumov V.V., Bagiyeva G.Z.
    • в журнале Semiconductor Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 30, № 3, с. 035017
  • 
    • 2015 Plasma chemical etching of high-aspect-ratio silicon micro- and nanostructures
    • Amirov I.I.
    • в журнале Russian Journal of General Chemistry, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 85, № 5, с. 1252-1259 DOI
  • • 2015 Моделирование морфологии поверхности при низкоэнергетическом ионном распылении
    • Шумилов А.С., Амиров И.И.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), № 7, с. 112
  • 
    • 2009 Micromasking effect and nanostructure self-formation on the surface of lead chalcogenide epitaxial films on Si substrates during argon plasma treatment
    • Zimin S.P., Gorlachev E.S., Amirov I.I., Zogg H.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 42, № 16, с. 165205
  • • 2008 Формирование микроструктур на поверхности кремния во фторсодержащей плазме в циклическом процессе травление/пассивация
    • Амиров И.И., Алов Н.В.
    • в журнале Химия высоких энергий, издательство ИКЦ «Академкнига» (Москва), том 42, № 2, с. 164-168
  • • 2006 Осаждение полимерной пленки в плазме высокочастотного индукционного разряда перфторциклобутана в его смеси с гексафторидом серы
    • Амиров И.И., Алов Н.В.
    • в журнале Химия высоких энергий, издательство ИКЦ «Академкнига» (Москва), том 40, № 4, с. 1-6

• Статьи в сборниках

  • • 2017 Inductively Coupled Plasma Sputtering: Structure of IV-VI Semiconductors
    • Zimin S., Gorlachev E., Amirov I.
    • в сборнике Encyclopedia of Plasma Technology, издательство CRC PRESS-TAYLOR & FRANCIS GROUP (6000 BROKEN SOUND PARKWAY NW,STE 300, BOCA RATON, USA, FL, 33487-2742), том 1, с. 679-691

• Доклады на конференциях

  • • 2021 Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2 (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Амиров И.И.
    • IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
  • • 2020 КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Изюмов М.О., Амиров И.И., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020), Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
  • • 2010 Влияние ионной бомбардировки на состав и свойства слоя, образующегося на поверхности кремния во фторуглеродной плазме (Стендовый)
    • Авторы: Шумилов А.С., Куприянов А.Н., Амиров И.И., Алов Н.В.
    • VII Международная конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе КРЕМНИЙ-2010, Нижний Новгород, 2010
  • • 2010 Влияние ионной бомбардировки на состав пленки, образующейся на поверхности Si во фторуглеродной плазме (Стендовый)
    • Авторы: Алов Н.В., Амиров И.И.
    • XL Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва. 25 -27 мая 2010 г. С.60., Москва, Россия, 2010

• НИРы

  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
    • Руководитель: Амиров И.И. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зотович А.И., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Горлачев Е.С., Изюмов М.О., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Чукаловский А.А.