Область научных интересов

Не указана.

Образование

  • 2018 к.ф.-м.н. Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения
  • 2014 стажировка IMEC (Бельгия)

Результаты деятельности

Соавторы: Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Baklanov M.R., Манкелевич Ю.А., Воронина Е.Н., Богданова М.А., Волынец А.В., Прошина О.В., Волошин Д.Г., Мележенко Д.Е., Astakhov D.I., Krivtsun V.M., de Marneffe J., el O.Z., Амиров И.И., Кропоткин А.Н., Маслаков К.И., Палов А.П., Резванов А.А., Сычева А.А., Шибанов Д.Р., Attallah A.G., Bijkerk F., Butterling M., Chanson R., Clemente I., Felim V., Goedheer W.J. Gubarev V. Heyne M.H. Hirschmann E. IVANOV V.V. Izyumov M. Khlebnikov S.A. Koshelev K. Krainov P.V. Krishtab M.B. Lazzarino F. Lee C.J. Liedke M.O. Lin Z. Liping Z. Naumov S. Nigel H. Novikova N.N. Otell Z.e. Samara V. Seregin D.S. Sergej Shi X. Vishnevskiy A. Vishnevskiy A.S. Vorotilov K.A. Vorotilov K. Vorotyntsev D.A. Wagner A. Yiting S. de Gendt S. de Marneffe J.F. Васильева А.Н. Ковалев А.С. Корнев В.К. Курчиков К.А. Медведев В.В. Мяконьких А.В. Попов Н.А. Серегин Д.С. Соловых А.А. Чукаловский А.А.