ИСТИНА

Milovanov R.

Соавторы: Сидоров Л.Н., Соколов С.А., Kelm E.A., Kitsyuk E.P., Kondratiev P.K., Абдуллаев Д.А., Булярский С.В., Павлов А.А., Сауров А.Н.

4 статьи, 3 доклада на конференциях

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 2, Scopus: 2

IstinaResearcherID (IRID): 34504026

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2018 Влияние барьерного слоя TiNx на определение структурных характеристик диэлектрических и проводящих слоев кристаллов интегральных схем
    • Соколов С.А., Милованов Р.А., Сидоров Л.Н., Шишкин В.И.
    • в журнале Наноматериалы и наноструктуры - XXI век, том 9, № 2, с. 43-48
  • • 2017 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМА
    • СОКОЛОВ С.А., СИДОРОВ Л.Н., КЕЛЬМ Е.А., МИЛОВАНОВ Р.А.
    • в журнале Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения, том 17, № 2, с. 349-353
  • 
    • 2016 Non-destructive determination of thickness of the dielectric layers using EDX
    • Sokolov S.A., Kelm E.A., Milovanov R.A., Abdullaev D.A., Sidorov L.N.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 10224, с. 1022426-1-1022426-6 DOI
  • • 2016 Конструкция и технология изготовления тестовых кристаллов с композитными проводниками на основе углеродных нанотрубок и металлов
    • Сауров А.Н., Булярский С.В., Кондратьев П.К., Скворцов А.А., Павлов А.А., Милованов Р.А., Кицюк Е.П.
    • в журнале Нано- и микросистемная техника, том 18, № 10, с. 628-635

• Доклады на конференциях

  • • 2017 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМА (Устный)
    • Авторы: Соколов С.А., Милованов Р.А., Кельм Е.А., Сидоров Л.Н.
    • Международная научно-техническая конференция "Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения" (Intermatic-2017), Москва, Россия, 20-24 ноября 2017
  • • 2016 A resistless electron beam litography, based on charge accumulation in dielectric films (Стендовый)
    • Авторы: Kelm E., Zubov D., Sokolov S., Milovanov R., Kazmishchev S.
    • ICMNE-2016, пансионат Ершово, Звенигород, МО, Россия, 3-6 октября 2016
  • • 2016 Non-destructive determination of thickness of the dielectric layers using EDX (Устный)
    • Авторы: Sokolov S., Milovanov R., Kelm E.
    • ICMNE-2016, пансионат Ершово, Звенигород, МО, Россия, 3-6 октября 2016