ИСТИНА

Волынец Андрей Владимирович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, младший научный сотрудник, с 1 февраля 2009

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Попов Н.А., Рахимов А.Т., Богданова М.А., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А., Koshelev K., Krivtsun V.M.

9 статей, 15 докладов на конференциях, 1 тезисы доклада, 14 НИР, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 23, Scopus: 25

IstinaResearcherID (IRID): 7739973

ORCID: 0000-0003-4893-7647

Деятельность стиль:  обычный | ГОСТ | plain | abbrv | acm | alpha | amsalpha | amsplain | apalike | ieeetr | siam

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2020 Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
    • Lopaev D.V., Bogdanova M.A., Volynets A.V., Zotovich A.I., Zyryanov S.M.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8 DOI
  • 
    • 2019 Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Bogdanova M.A., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 52, № 39, с. 395203 DOI
  • 
    • 2018 N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Chukalovsky A.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 36, с. 364002 DOI
  • 
    • 2017 Actinometry of O, N and F atoms
    • Lopaev D.V., Volynets A.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, № 7, с. 075202 DOI
  • 
    • 2016 Mechanism of N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in pure nitrogen plasma
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Popov N.A.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 768, с. 012006 DOI
  • • 2013 Nitrogen atoms influence on associative ionization in nitrogen plasma
    • Volynets A., Zotovich A., Lopaev D., Ziryanov S., Popov N.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8
  • • 2013 Space--time evolution of low-pressure H2 plasma induced by runaway photoelectrons produced by KrF laser pulse
    • Zotovich A., Volynets A., Lopaev D., Zyryanov S., Koshelev K., Krivtsun V., Astakhov D.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8

• Статьи в сборниках

  • • 2019 The analysis of N2 dissociation in nitrogen direct-current glow discharge
    • Chukalovsky A.A., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Volynets A.V., Lopaev D.V., Popov N.A.
    • в сборнике NONEQUILIBRIUM PROCESSES: VOLUME 1 KINETICS AND PLASMA, место издания TORUS PRESS Moscow, том 1, с. 39-50 DOI
  • • 2014 Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в плазме чистого азота
    • Волынец А.В., Лопаев Д.В., Попов Н.А.
    • в сборнике Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014, серия ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2, место издания Изд-во: КНИТУ Казань, том 1, с. 199-203

• Доклады на конференциях

  • • 2020 БЫСТРОЕ ТУШЕНИЕ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА АТОМАМИ O ОСНОВНОГО СОСТОЯНИЯ ПРИ ВЫСОКОМ РАЗОГРЕВЕ (Стендовый)
    • Авторы: Волынец А.В., Лопаев Д.В., Богданова М.А., Зырянов С.М., Рахимов А.Т.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2020 ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОЛЬНОЙ ДОЛИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ КИСЛОРОДА В РАЗРЯДЕ O2 С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ Э МИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ (Стендовый)
    • Авторы: Богданова М.А., Лопаев Д.В., Волынец А.В., Зырянов С.М., Рахимов А.Т.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2019 Изучение колебательного распределения N2 в плазме чистого азота промежуточного давления (10-100 Торр) с помощью спектроскопии поглощения (Стендовый)
    • Авторы: Волынец А.В., Попов Н.А., Лопаев Д.В.
    • XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
  • • 2018 ИССЛЕДОВАНИЕ РОЛИ ОЗОНА В ГИБЕЛИ АТОМОВ КИСЛОРОДА В О2 ПЛАЗМЕ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ. (Стендовый)
    • Авторы: Богданова М.А., Рахимов А.Т., Волынец А.В., Зырянов С.М.
    • Современные методы диагностики плазмы и их применение, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
  • • 2018 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ГАЗОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ МЕТОДОМ ОПТИЧЕСКОЙ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ. (Стендовый)
    • Авторы: Зырянов С.М., Рахимов А.Т., Волынец А.В., Богданова М.А.
    • Современные методы диагностики плазмы и их применение, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
  • • 2018 O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures (Устный)
    • Авторы: Волынец А.В., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Прошина О.В.
    • The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
  • • 2018 The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge (Устный)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Volynets A.V., Rakhimova T.V., Popov N.A., Chukalovsky A.A., Lopaev D.V.
    • The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018), Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
  • • 2018 Actinometry of O atoms with Kr at elevated pressures (10 - 100 Torr) in pure O2 discharge (Устный)
    • Авторы: Volynets A.V., Rakhimov A.T., Lopaev D.V.
    • International Conference on Combustion Physics and Chemistry, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
  • • 2018 Features of oxygen metastable kinetics in O2 plasma with increasing pressure (Устный)
    • Авторы: Lopaev D.V., Volynets A.V., Chukalovsky A.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • International Conference on Combustion Physics and Chemistry, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
  • • 2018 N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge (Устный)
    • Авторы: Volynets A.V., Lopaev D.V., Popov N.A., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Chukalovsky A.A.
    • International Conference on Combustion Physics and Chemistry, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
  • • 2017 O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures (Устный)
    • Авторы: Proshina O., Rakhimova T., Rakhimov A., Lopaev D., Volynets A.
    • 70th Annual Gaseous Electronics Conference, Pittsburgh, Pennsylvania, США, 6-10 ноября 2017
  • • 2017 Актинометрия атомов O, N и F (Стендовый)
    • Авторы: Зотович А.И., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Волынец А.В., Рахимов А.Т.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2016 Actinometry of O, N and F atoms (Устный)
    • Авторы: ANDREY VOLYNETS, DMITRY LOPAEV, ALEXANDER RAKHIMOV, SERGEY ZYRYANOV, ALEXEY ZOTOVICH
    • 69th Annual Gaseous Electronics Conference, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
  • • 2014 Mechanism of N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms im pure nitrogen plasma (Устный)
    • Авторы: Volynets A.V., Popov N.A., Lopaev D.V.
    • 6-th International Workshop and Summer School on Plasma Physics, Kiten Bulgaria, Болгария, 2014
  • • 2014 Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в азотной плазме среднего давления (Стендовый)
    • Авторы: Волынец А.В., Попов Н.А., Лопаев Д.В.
    • XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, г. Звенигород Московской области, 2014

• Тезисы докладов

  • • 2014 Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в азотной плазме среднего давления
    • Волынец А.В., Лопаев Д.В., Попов Н.А.
    • в сборнике Тезисы докладов XLI Международной конференции по физике плазмы и УТС. (Звенигород, 10 - 14 февраля 2014), место издания Москва, том 1, тезисы, с. 199-199

• НИРы

  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
    • Руководитель: Амиров И.И. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зотович А.И., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Горлачев Е.С., Изюмов М.О., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Чукаловский А.А.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Лопаев Д.В. Ответственные исполнители: Волынец А.В., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Манкелевич Ю.А.
  • • 10 октября 2018 - 1 октября 2020 Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Зырянов С.М. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Зотович А.И., Чукаловский А.А. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
  • • 1 января 2018 - 9 апреля 2020 Экспериментальное исследование гибели атомов О в плазме чистого кислорода при средних давлениях
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Волынец А.В. Участники НИР: Богданова М.А., Зырянов С.М.
  • • 2 мая 2017 - 31 декабря 2018 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волынец А.В., Зотович А.И., Ковалев А.С., Поройков А.Ю., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2017 - 31 декабря 2019 Кинетика электронно-возбужденных частиц и быстрый нагрев газа в послесвечении импульсных разрядов в азоте и химически активных средах
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Попов Н.А. Ответственные исполнители: Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В. Участники НИР: Волынец А.В., Чукаловский А.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2023 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 февраля 2012 - 30 ноября 2013 Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Курчиков К.А., Шкуренков И.А.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 1 декабря 2010 - 15 ноября 2012 Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.

• Диссертация

  • • 2019 Экспериментальное исследование кинетики атомов в N2/O2 плазме оптическими методами
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика (физ.-мат. науки)
    • Автор: Волынец Андрей Владимирович, МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимов Александр Турсунович, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете МГУ.01.05 МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Организация, в которой выполнялась работа: МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Оппоненты: Медведев Вячеслав Валерьевич, Акишев Юрий Семёнович, Лебедев Юрий Анатольевич
    • Объявление о защите

---