Манкелевич Юрий Александрович
пользователь
доктор физико-математических наук с 2014 года
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 2684,
Scopus: 2762
IstinaResearcherID (IRID): 438122
Деятельность
Статьи в журналах
2021
Reactive plasma cleaning and restoration of transition metal dichalcogenide monolayers
Marinov D. ,
de Marneffe J.F. ,
Smets Q.,
Arutchelvan G.,
Bal K.M.,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
El Kazzi S.,
Nalin M.A.,
Wyndaele P.J. ,
Heyne M.H. ,
Zhang J.,
With P.C.,
Banerjee Sr,
Neyts E.C.,
Asselberghs I. ,
Lin D.,
De Gendt St
в журнале npj 2D Materials and Applications , издательство Springer Nature (Switzerland) , том 5, № 1
DOI
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 53, с. 175203
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Santos Sousa J. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Mankelevich Yu ,
de Oliveira N. ,
Nahon L.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
Environmentally friendly method of silicon recycling: synthesis of silica nanoparticles in an aqueous solution
Bondareva Julia V.,
Aslyamov Timur F.,
Kvashnin Alexander G. ,
Dyakonov Pavel V. ,
Kuzminova Yulia O. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Voronina Ekaterina N. ,
Dagesyan Sarkis A. ,
Egorov Alexander V. ,
Khmelnitsky Roman A.,
Tarkhov Michael A.,
Suetin Nikolay V. ,
Akhatov Iskander S. ,
Evlashin Stanislav A.
в журнале ACS SUSTAINABLE CHEMISTRY & ENGINEERING , том 8, № 37, с. 14006-14012
DOI
2020
Optical Emission Imaging and Modelling Investigations of Microwave Activated SiH4/H2 and SiH4/CH4/H2 Plasmas
Mahoney E.J.D ,
Lalji A. ,
Allden J.W.R ,
Truscott B.S. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Yu A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 124, с. 5109-5128
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N. ,
Sycheva A.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Mankelevich Y.A.
в журнале Plasma Processes and Polymers , издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany) , № 2, с. e1900165
DOI
2020
Role of nitrogen and oxygen in the capacitance formation of carbon nanowalls
Evlashin S.A. ,
Fedorov F.S. ,
Dyakonov P.V. ,
Maksimov Yu M. ,
Pilevsky A.A. ,
Maslakov K.I. ,
Kuzminova Yu O. ,
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Dagesyan S.A. ,
Pletneva V.A. ,
Pavlov A.A.,
Tarkhov M.A. ,
Trofimov I.V. ,
Zhdanov V.L. ,
Suetin N.V. ,
Akhatov I.S.
в журнале Journal of Physical Chemistry Letters , издательство American Chemical Society (United States) , том 11, № 12, с. 4859-4865
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Pal Alexander Fridrikhovich ,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich ,
Serov Alexander Olegovich ,
Lopaev Dmitry ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Baklanov Mikhail
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 53, № 29, с. 295202
DOI
2019
Imaging and Modelling the Optical Emission from CH Radicals in Microwave Activated C/H plasmas
Mahoney E.J.D ,
Rodriguez B.J. ,
Mushtaq S. ,
Truscott B.S. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Yu A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 123, с. 9966-9977
DOI
2019
Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
Baklanov M.R. ,
Jousseaume V. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Afanas'ev V.V. ,
Shohet J.L. ,
King S.W. ,
Ryan E.T.
в журнале APPLIED PHYSICS REVIEWS , том 6, № 1, с. 011301
DOI
2019
N-Doped Carbon NanoWalls for Power Sources
Evlashin S.A. ,
Maksimov Y.M. ,
Dyakonov P.V. ,
Pilevsky A.A. ,
Maslakov K.I. ,
Mankelevich Y.A. ,
Voronina E.N. ,
Vavilov S.V.,
Pavlov A.A.,
Zenova E.V.,
Akhatov I.S. ,
Suetin N.V.
в журнале Scientific reports , издательство Nature Publishing Group (United Kingdom) , том 9, № 1, с. 6716-7 pages
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P. ,
Guaitella O. ,
Chatterjee A. ,
Drag C. ,
Guerra V. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Mankelevich Yu
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 28, с. 055005
DOI
2018
Ambient Condition Production of High Quality Reduced Graphene Oxide
Evlashin Stanislav A. ,
Svyakhovskiy Sergey E. ,
Fedorov Fedor S.,
Mankelevich Yuri A. ,
Dyakonov Pavel V. ,
Minaev Nikita V. ,
Dagesyan Sarkis A. ,
Maslakov Konstantin I. ,
Khmelnitsky Roman A. ,
Suetin Nikolay V. ,
Akhatov Iskander S. ,
Nasibulin Albert G.
в журнале ADVANCED MATERIALS INTERFACES , с. 1800737
DOI
2018
Damage-free plasma etching of porous organo-silicate low-k using micro-capillary condensation above -50 °C
Chanson R. ,
Zhang L. ,
Naumov S.,
Mankelevich Yuri ,
Tillocher T. ,
Lefaucheux P. ,
Dussart R. ,
Gendt S.De ,
Marneffe J.F de
в журнале Scientific reports , издательство Nature Publishing Group (United Kingdom) , том 8, № 1, с. 1886
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Chukalovsky A.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 51, № 36, с. 364002
DOI
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
Lopaev D. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Zotovich Alexey ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 50, с. 485202
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Baklanov M.R.
в журнале European Physical Journal D , издательство Springer Verlag (Germany) , том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале European Physical Journal D , издательство Springer Verlag (Germany) , том 71, № 5, с. 126
DOI
2017
Study of CoTa Alloy as Barrier Layer for Cu/low-k Interconnects
Wang Xu,
Lin-Tao Liu,
Peng He,
Xin-Ping Qu,
Jing Zhang,
Shuhua Wei,
Mankelevich Yu A. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 50
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Krishtab M.B. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures , издательство AIP Publishing (United States) , том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
Nonstationary effects in ozone generation by barrier discharges in N2/O2 mixtures
Zosimov A.V. ,
Lunin V.V. ,
Abramovskaya E.A. ,
Samoilovich V.G. ,
Mankelevich Yu A. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Voloshin D.G.
в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 90, № 8, с. 1687-1692
DOI
2016
Ozone production and losses in N2/O2 mixtures in an ozone generator
Mankelevich Yu A. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Voloshin D.G. ,
Chukalovskii A.A. ,
Zosimov A.V. ,
Lunin V.V. ,
Samoilovich V.G.
в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 90, № 9, с. 1896-1902
DOI
2016
Reaction of hydrogen atoms with singlet delta oxygen O2(1Δg). Is everything completely clear?
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Palov A.P. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 49, № 48, с. 485202
DOI
2016
Нестационарные эффекты в генерации озона барьерным разрядом в смесях N2/O2
Зосимов А.В. ,
Лунин В.В. ,
Самойлович В.Г. ,
Абрамовская Е.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Поройков A.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Волошин Д.Г.
в журнале Журнал физической химии , издательство Наука (М.) , том 90, № 8, с. 1279-1284
DOI
2016
Образование и гибель озона в озонаторах в N2/O2-смесях
Манкелевич Ю.А. ,
Поройков A.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Волошин Д.Г. ,
Чукаловский А.А. ,
Зосимов А.В. ,
Лунин В.В. ,
Самойлович В.Г.
в журнале Журнал физической химии , издательство Наука (М.) , том 90, № 9, с. 1421-1427
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Kurchikov K.A. ,
Zyryanov S.M. ,
Palov A.P. ,
Proshina O.V. ,
Maslakov K.I. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K.A. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2015
Microwave Plasma-Activated Chemical Vapour Deposition of Nitrogen-Doped Diamond, I: N2/H2 and NH3/H2
Plasmas Benjamin Truscott S.Journal of ,
Kelly Mark W. ,
Potter Katie J. ,
Mack Johnson ,
Ashfold Michael N.R. ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 119, с. 12962-12976
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Novikova N.N.,
Krishtab M.B. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 47, № 2, с. 025102
DOI
2014
Tailoring of the carbon nanowall microstructure by sharp variation of plasma radical composition
Mironovich Kirill V. ,
Itkis Daniil M. ,
Semenenko Dmitry A. ,
Dagesian Sarkis A. ,
Yashina Lada V. ,
Kataev Elmar Yu ,
Mankelevich Yuri A. ,
Suetin Nikolay V. ,
Krivchenko Victor A.
в журнале Physical Chemistry Chemical Physics , издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) , том 16, № 46, с. 25621-25627
DOI
2013
Damage Free Cryogenic Etching of a Porous Organosilica Ultralow-k Film
Liping Zhang ,
Rami Ljazouli ,
Philippe Lefaucheux ,
Thomas Tillocher ,
Rémi Dussart ,
Mankelevich Yu A. ,
de Marneffe Jean-François ,
Baklanov Stefan de Gendt and Mikhail
в журнале ECS Solid State Letters , том 2, № 2, с. N5-N7
DOI
2013
Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mankelevich Yu A. ,
Mitin A.V. ,
Mitin V.S. ,
Pal’ A.F. ,
Rakhimova T.V. ,
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Luchkin S.Yu
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 39, № 1, с. 39-41
DOI
2013
Low damage cryogenic etching of porous organosilicate low-k materials using SF6/O2/SiF4
Liping Zhang,
Rami Ljazouli,
Philippe Lefaucheux,
Thomas Tillocher,
Remi Dussart,
Mankelevich Yuri A. ,
de Marneffe Jean-Francois,
de Gendt Stefan ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале ECS Journal of Solid State Science and Technology , издательство Electrochemical Society, Inc. (United States) , том 2, № 6, с. N131-N139
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Applied Physics Letters , издательство AIP Publishing (United States) , том 102, № 11, с. 111902
DOI
2012
Boron-doped Homoepitaxial Diamond CVD from Microwave Plasma-Activated Ethanol/Trimethyl Borate/Hydrogen Mixtures
Belousov M.E. ,
Mankelevich Yu A. ,
Minakov P.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Khmelnitskiy R.A.,
Tal A.A.,
Khomich A.V.
в журнале Chemical Vapor Deposition , издательство John Wiley & Sons Ltd. (United Kingdom) , том 18, № 10-12, с. 302-308
DOI
2012
Emission properties of carbon nanowalls on porous silicon
Evlashin Stanislav A. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Borisov Vladimir V. ,
Pilevskii Andrey A. ,
Stepanov Anton S. ,
Krivchenko Victor A. ,
Suetin Nikolai V. ,
Alexander T Rakhimov
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures , издательство AIP Publishing (United States) , том 30, № 2, с. 021801
DOI
2012
Exploring the plasma chemistry in microwave chemical vapor deposition of diamond from c/h/o gas mixtures
Kelly Mark W. ,
Richley James C. ,
Western Colin M. ,
Ashfold Michael N.R. ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 116, № 38, с. 9431-46
DOI
2012
Study of Singlet Delta Oxygen O2(1Δg) Impact on H2–O2 Mixture Ignition in Flow Reactor: 2D Modeling
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S.,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Combustion Science and Technology , издательство Taylor & Francis (United Kingdom) , том 184, № 10-11, с. 1768-1786
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov ,
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Mikhail Baklanov
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference , том 57, № 8
2012
Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
Манкелевич Ю.А. ,
Митин А.В. ,
Митин В.С. ,
Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Серов А.О.,
Лучкин С.Ю.
в журнале Письма в "Журнал технической физики" , издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.) , том 38, № 24, с. 60-66
2011
Simulation of Optical Properties of Silicon Solar Cells Textured with Penetrating VShaped Grooves
Untila G.G. ,
Palov A.P. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kost T.N. ,
Chebotareva A.B. ,
Dvorkin V.V.
в журнале Semiconductors , издательство Springer (New York) , том 45, № 10, с. 1357-1363
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Voloshin D.G. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 109, № 4, с. 043303
DOI
2011
Моделирование оптических свойств кремниевых солнечных элементов, текстурированных V-образными проникающими канавками
Унтила Г.Г. ,
Палов А.П. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Кост Т.Н. ,
Чеботарева А.Б. ,
Дворкин В.В.
в журнале Физика и техника полупроводников , издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.) , том 45, № 10, с. 1410-1416
DOI
2010
Spectroscopic and Modeling Investigations of the Gas Phase Chemistry and Composition in Microwave Plasma Activated B2H6/CH4/Ar/H-2 Mixtures
Jie Ma ,
Richley James C. ,
Davies David R.W. ,
Ashfold Michael N.R. ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 114, № 37, с. 10076-10089
DOI
2010
Spectroscopic and Modeling Investigations of the Gas-Phase Chemistry and Composition in Microwave Plasma Activated B2H6/Ar/H-2 Mixtures
Jie Ma ,
Richley James C. ,
Davies David R.W. ,
Cheesman Andrew ,
Ashfold Michael N.R. ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 114, № 7, с. 2447-2463
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 108, № 7, с. 073303
DOI
2009
Coagulation of dust grains in the plasma of an RF discharge in argon
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Pal' A.F. ,
Rakhimova T.V. ,
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Filippov A.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 35, № 3, с. 191-199
DOI
2009
Quantum cascade laser investigations of CH4 and C2H2 interconversion in hydrocarbon/H-2 gas mixtures during microwave plasma enhanced chemical vapor deposition of diamond
Jie Ma ,
Cheesman Andrew ,
Ashfold Michael N.R. ,
Hay Kenneth G. ,
Wright Stephen ,
Langford Nigel ,
Duxbury Geoffrey ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 106, № 3, с. 033305
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Malykhin Evdokim M. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Zyryanov Sergey M. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
Simplified Monte Carlo simulations of chemical vapour deposition diamond growth
May Paul W. ,
Allan Neil L. ,
Ashfold Michael N.R. ,
Richley James C. ,
Mankelevich Yuri A.
в журнале Journal of Physics Condensed Matter , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 21, № 36, с. 364203
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference , том 54, № 12
2009
Understanding the chemical vapor deposition of diamond: recent progress
Butler J.E.,
Mankelevich Y.A. ,
Cheesman A.,
Jie Ma ,
Ashfold M.N.R
в журнале Journal of Physics Condensed Matter , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 21, № 36, с. 364201
DOI
2009
Коагуляция пылевых частиц в аргоновой плазме ВЧ разряда
Манкелевич Ю.А. ,
Олеванов М.А. ,
Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Серов А.О. ,
Филиппов А.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 35, № 3, с. 219-228
2008
Light Efficiency of Cathodoluminescent Screens Excited by a Runaway Electron Beam
Belostotsky S.G. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Muratov E.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Saenko V.B. ,
Timofeev M.A.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 34, № 11, с. 969-977
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Ivanov Vladimir V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Olevanov Michael A. ,
Proshina Olga V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Voloshin Dmitry G.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Measurement and modeling of Ar/H-2/CH4 arc jet discharge chemical vapor deposition reactors. I. Intercomparison of derived spatial variations of H atom, C-2, and CH radical densities
Rennick C.J. ,
Ma J. ,
Henney J.J.,
Wills J.B. ,
Ashfold M.N.R ,
Orr-Ewing A.J. ,
Mankelevich Yu A.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 102, № 6, с. 5183- 5190
DOI
2007
Microcrystalline, nanocrystalline, and ultrananocrystalline diamond chemical vapor deposition: Experiment and modeling of the factors controlling growth rate, nucleation, and crystal size
May P.W. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Yu A.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 101, № 5, с. 053115
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G. ,
Klopovskiy Konstantin S. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Popov Nikolay A. ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Rakhimov Alexander T.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
Rakhimova T.V. ,
Braginsky O.V. ,
Ivanov V.V. ,
Kim T.K. ,
Kong J.T. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Vasilieva A.N.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Experimental and modeling studies of B atom number density distributions in hot filament activated B2H6/H-2 and B2H6/CH4/H-2 gas mixtures
Comerford D.W. ,
Cheesman A. ,
Carpenter T.P.F ,
Davies D.M.E ,
Fox N.A.,
Sage R.S. ,
Smith J.A. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Y.A.
в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols , издательство American Chemical Society (United States) , том 110, № 9, с. 2868-2875
DOI
2006
Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
Rakhimova T.V. ,
Braginsky O.V. ,
Ivanov V.V. ,
Kim T.K. ,
Kong J.T. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Proshina O.V. ,
Vasilieva A.N.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Spatial profiling of H(n=2) atom number densities in a dc arc jet reactor
Rennick C.J. ,
Ma J. ,
Ashfold M.N.R ,
Orr-Ewing A.J. ,
Mankelevich Yu A.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 15, № 3, с. 432-440
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V. ,
Vasil’eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Quantum Electronics , издательство Turpion - Moscow Ltd. (United Kingdom) , том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
Kinetics of O-2(b (1)Sigma(+)(g)) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Y. ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b (1)Sigma(+)(g)) in Oxygen RF Discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Yu ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b1Sg) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Yu ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, с. 2360-2370
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N. ,
Klopovski K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2004
Improved characterisation of C-2 and CH radical number density distributions in a DC arc jet used for diamond chemical vapour deposition
Rennick C.J. ,
Smith A.G. ,
Wills J.B. ,
Orr-Ewing A.J. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Y.A. ,
Suetin N.V.
в журнале Diamond and Related Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 13, № 4-8, с. 561-568
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S. ,
Kovalev А.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova Т.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2004
Singlet oxygen production and quenching mechanisms in travelling microwave discharges
Savin Y.V.,
Goryachev L.V.,
Adamenkov Y.A.,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Adamenkov A.A. ,
Egorov V.V. ,
Ilyin S.P. ,
Kolobyanin Y.V. ,
Kudryashov E.A. ,
Rogozhnikov G.S. ,
Vyskubenko B.A.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 37, № 22, с. 3121-3128
DOI
2003
Chemical kinetics in carbon depositing d.c.-arc jet CVD reactors
Mankelevich Y.A. ,
Suetin N.V. ,
Ashfold M.N.R ,
Boxford W.E. ,
Orr-Ewing A.J. ,
Smith J.A. ,
Wills J.B.
в журнале Diamond and Related Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 12, № 3-7, с. 383-390
DOI
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Effects of NH3 and N-2 additions to hot filament activated CH4/H-2 gas mixtures
Smith J.A. ,
Wills J.B. ,
Moores H.S.,
Orr-Ewing A.J. ,
Ashfold M.N.R ,
Mankelevich Y.A. ,
Suetin N.V.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 92, № 2, с. 672-681
DOI
2001
Unravelling aspects of the gas phase chemistry involved in diamond chemical vapour deposition
Ashfold M.N.R ,
May P.W. ,
Petherbridge J.R. ,
Rosser K.N.,
Smith J.A. ,
Mankelevich Y.A. ,
Suetin N.V.
в журнале Physical Chemistry Chemical Physics , издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) , том 3, № 17, с. 3471-3485
DOI
1997
Growth and characterisation of CVD diamond wires for x-ray detection
Manfredotti C.,
Fizzotti F. ,
LoGiudice A.,
Mucera G. ,
Polesello P. ,
Vittone E. ,
Mankelevich Y.A. ,
Suetin N.V.
в журнале Diamond and Related Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 6, № 8, с. 1051-1056
DOI
1996
Experimental and theoretical study of the efficiency of an excimer lamp pumped by a pulse distributed discharge in xenon
Ivanov V.V. ,
Klopovskii K.S. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в журнале Laser Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 6, № 4, с. 654-659
Статьи в сборниках
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Olga Proshina ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Sergey Zyryanov ,
Mikhail Baklanov
в сборнике MRS Online Proceedings Library , издательство Cambridge University Press (United Kingdom) , том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2012
STUDY OF SINGLET DELTA OXYGEN O2(1Dg) IMPACT ON H2O2 MIXTURE IGNITION IN FLOW REACTOR
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике Nonequilibrium Processes in Plasma, Combustion, and Atmosphere / Edited by A.M. Starik, S.M. Frolov , место издания TORUS PRESS Moscow , с. 39-48
2011
Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICDERS 2011 Proceedings , серия 23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems , место издания University of California, Irvine , с. Paper #206
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Malykhin E.M. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings , место издания Materials Research Society , том 1156
DOI
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan , место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2007
Mixing of post-discharge o2/he flow with no2/he flow: 3d modeling of experimental data
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Palov A.P. ,
Carroll D.L.
в сборнике Proceedings of SPIE , серия PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING , место издания S P I E - International Society for Optical Engineering SPIE, the International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, United States , том 6346, с. 2
DOI
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006 , место издания Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kolobyanin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T.
в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Toronto, Canada , с. 2005-4918
DOI
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Klopovsky K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Savin Yu V.
в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering , с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Popov N.A.
в сборнике Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004 , место издания AIAA Portland, Oregon, USA , с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland , место издания Bunratty, Ireland
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Orlando, Florida USA , с. 23-26
DOI
2002
Polarizational Mechanism of Dusty Particles Interaction in Plasma
Lopaev D. ,
Mankelevich Y. ,
Olevanov M. ,
Rakhimova T.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 63-64
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin , серия NATO Science Series B: Physics , место издания Springer USA , том 367, с. 37-58
DOI
1998
Two-dimensional simulation of diamond deposition processes in microwave discharge reactors
Kostiuk S.V.,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V.
в сборнике PROCEEDINGS OF THE FIFTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DIAMOND MATERIALS , серия Book Series: ELECTROCHEMICAL SOCIETY SERIES Volume: 97 Issue: 32 , место издания ELECTROCHEMICAL SOCIETY INC, 65 S MAIN ST, PENNINGTON, NJ 08534-2839 USA , том 97, с. 152-160
1996
Two-dimensional models of CVD reactors for diamond deposition
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Kostyuk S.V.
в сборнике EURODIAMOND '96 , серия Book Series: ITALIAN PHYSICAL SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS (IPS) , место издания EDITRICE COMPOSITORI, VIA STALINGRADO 97/2, 40128 BOLOGNA, ITALY , том 52, с. 27-34
Книги
1997
Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
Иванов В.В. ,
Ивлюшкин А.Н.,
Клоповский К.С. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Пирогов В.Г.,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Рой Н.Н. ,
Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания НИИЯФ МГУ Москва , 43 с.
Доклады на конференциях
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
SERGEY ZYRYANOV ,
TATYANA RAKHIMOVA ,
DMITRY VOLOSHIN ,
YURI MANKELEVICH ,
OLIVEIRA NELSON DE ,
LAURENT NAHON ,
DMITRY LOPAEV ,
OLIVIER GUAITELLA ,
ABHYUDAY CHATTERJEE ,
JEAN-PAUL BOOTH
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA) , Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Chukalovsky A.A. ,
Rakhimova T.V.
The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018) , Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Baklanov M.R.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016) , Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016) , Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A. ,
Voronina E. ,
Lopaev D. ,
Baklanov M. ,
Rakhimova T. ,
Zyryanov S. ,
Proshina O. ,
Mankelevich Yu
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry , Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S. ,
Kurchikov K. ,
Lopaev D. ,
Mankelevich Yu ,
Palov A. ,
Rakhimova T. ,
Voronina E. ,
Novikova N. ,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry , Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil'eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Kurchikov K. ,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium) , Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
(Стендовый)
Авторы:
Митин В.С. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Паль А.Ф. ,
Рябинкин А.Н. ,
Серов А.О. ,
Krasnobaev N. ,
Рахимова Т.В. ,
Mitin A.
13th International Conference on Plasma Surface Engineering , Garmisch-Partenkirchen, Germany, Германия, 2012
2012
Study of singlet delta oxygen O2(1Δg) impact on H2‐O2 mixture ignition in flow reactor
(Стендовый)
Авторы:
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Rakhimova and T.V ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A.
5th International Symposium on Non‐equilibrium Processes, Plasma, Combustion, and Atmospheric Phenomena (NEPCAP) , Russia, Sochi (Loo), Россия, 2012
2006
Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
Авторы:
Прошина О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Васильева А.Н. ,
Рахимова Т.В. ,
Брагинский О.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Олеванов М.А.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Олеванов М.А.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Клоповский К.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Попов Н.А. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Рахимов А.Т.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004 , Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
Тезисы докладов
2019
Dry cleaning of transition-metal dichalcogenides using reducing downstream plasma
Marinov D. ,
de Marneffe J.F. ,
Zhang J.,
With P.,
Smets Q.,
Arutchelvan G. ,
Voronina E. ,
Mankelevich Yu ,
Rakhimova T. ,
et al.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France , место издания MINATEC Grenoble, France , тезисы, с. 100-101
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
Voronina E.N. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Sycheva A.A.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France , место издания MINATEC Grenoble, France , тезисы, с. 52-53
2017
DFT simulations of fluorine and chlorine atoms and molecules interactions with MoS2 monolayer
Voronina E. ,
Mankelevich Yu ,
Rakhimova T. ,
Heyne M. ,
Marinov D. ,
de Marneffe J.F.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgium , место издания IMEC Leuven, Belgium , тезисы
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mitin Valery ,
Mankelevich Yury ,
Pal Alexander,
Rakhimova Tatyana ,
Ryabinkin Alexey ,
Serov Alexander ,
Mitin Alexey ,
Krasnobaev Nikolay
в сборнике 13th International Conference on Plasma Surface Engineering , место издания Garmisch-Partenkirchen, Germany , тезисы, с. 1051
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts , место издания Prague, Czech Republic , тезисы, с. 124-124
НИРы
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Прошина О.В.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Воронина Е.Н. ,
Зотович А.И. ,
Иванов А.С. ,
Кропоткин А.Н. ,
Курчиков К.А. ,
Палов А.П. ,
Сычева А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2023
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В. ,
Богацкая А.В. ,
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронина Е.Н. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Сычева А.А. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сычева А.А. ,
Чукаловский А.А.
1 января 2014 - 31 декабря 2016
Исследование кинетики генерации и гибели озона в присутствии азота и гетерогенных катализаторов для повышения энергоэффективности озонаторов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Участники НИР:
Абрамовская Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Зосимов А.В. ,
Иванов А.С. ,
Козлов К.В. ,
Лунин Б.С. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Савилов С.В. ,
Самойлович В.Г. ,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Палов А.П. ,
Пащенко П.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов Н.А. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Селезнев Б.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В. ,
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
КЛАВДИЕВ В.В. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Намиот В.А. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л.
1 декабря 2010 - 15 ноября 2012
Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л.
10 сентября 2010 - 31 декабря 2012
Исследование нелинейно-оптических процессов в высокоинтенсивных лазерных импульсах ультракороткой длительности для разработки методов диагностики и управления процессами со сверхвысоким временным и пространственным разрешением
МГУ им. М.В.Ломоносова
Руководитель:
Попов А.М.
Участники НИР:
Богацкая А.В. ,
Буренков И.А. ,
Волкова Е.А. ,
Гуляев А.В. ,
Зырянов С.М. ,
Кленов Н.В. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Попов Н.А. ,
Рахимова Т.В. ,
Соловьев И.И. ,
Тихонова О.В. ,
Харин В.Ю. ,
Чукаловский А.А. ,
Шарапова П.Р.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Чукаловский А.А. ,
Шарапова П.Р. ,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кожин В.А. ,
Кривченко В.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Намиот В.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Харин В.Ю. ,
Чукаловский А.А. ,
Шарапова П.Р. ,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Кривченко В.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Палов А.П. ,
Пащенко П.В. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Селезнев Б.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чеботарева А.Б. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Шкуренков И.А.
Патенты
Награды и премии
Членство в диссертационных советах
с 13 марта 2017
МГУ.01.05, МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика (физ.-мат. науки)
Действующие члены совета:
Рахимов А.Т. ,
Калегаев В.В. ,
Чеченин Н.Г. ,
Власова Н.А. ,
Алексеев И.И. ,
Беленькая Е.С. ,
Богачёв С.А. ,
Борисов А.М. ,
Васильев А.Н. ,
Гетлинг А.В. ,
Кропоткин А.П. ,
Куприянов М.Ю. ,
Малова Х.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Новиков Л.С. ,
Попов А.М. ,
Свертилов С.И. ,
Соловьев И.И. ,
Сомов Б.В. ,
Усов Н.А.
Диссертации
Руководство дипломными работами