Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature
доклад на конференции
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Baklanov M.R.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Kurchikov K.A.
Международная Конференция (Семинар (workshop)) :
PESM 2015
Даты проведения конференции:
27-28 апреля 2015
Дата доклада:
28 апреля 2015
Тип доклада:
Устный
Докладчик:
Lopaev D.V.
не указан
Rakhimova T.V.
Mankelevich Yu A.
Lopaev D.V.
Baklanov M.R.
Zyryanov S.M.
Zotovich A.I.
Kurchikov K.A.
Место проведения:
Leuven, Belgium
Добавил в систему:
Зотович Алексей Иванович