|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k filmsдоклад на конференции
- Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Baklanov M.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Palov A.P.
- Международная Конференция : International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
- Даты проведения конференции: 23-26 августа 2016
- Дата доклада: 25 августа 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Voronina E.N.
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна