|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators. NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysicsсборник
- Год издания: 2010
- Место издания: Springer Dordrecht
- Добавил в систему: Быстров Петр Алексеевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2010 Modeling of Dry Etching in Production of MEMS
- Rusakov A., Bystrov P.A., Knizhnik A., Potapkin B.
- в сборнике Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators. NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics, место издания Springer Dordrecht, с. 215-223 DOI