|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Тезисы докладов научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули». Российский форум «Микроэлектроника 2025»сборник
- Год издания: 2025
- Серия: ШМУ Секция № 3 «Технологические процессы микроэлектроники»
- Место издания: Университет «Сириус»
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Зиганшин Илья Ильнурович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2025 Дизайн пространственно-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии для оценки однородности плазмы в плазмохимических реакторах
- Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Кириллов Е.А., Брюшков М.М., Рахимов А.Т.
- в сборнике Тезисы докладов научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули». Российский форум «Микроэлектроника 2025», серия ШМУ Секция № 3 «Технологические процессы микроэлектроники», место издания Университет «Сириус», тезисы, с. 122-123