|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Дизайн пространственно-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии для оценки однородности плазмы в плазмохимических реакторахтезисы доклада
- Авторы: Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Кириллов Е.А., Брюшков М.М., Рахимов А.Т.
- Сборник: Тезисы докладов научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули». Российский форум «Микроэлектроника 2025»
- Серия: ШМУ Секция № 3 «Технологические процессы микроэлектроники»
- Тезисы
- Год издания: 2025
- Место издания: Университет «Сириус»
- Первая страница: 122
- Последняя страница: 123
- Добавил в систему: Зиганшин Илья Ильнурович