2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432)сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
-
2000
Decaborane, an alternative approach to ultra low energy ion implantation
-
Jacobson D.C.,
Bourdelle K.,
Gossmann H.J.,
Sosnowski M.,
Albano M.A.,
Babaram V.,
Poate J.M.,
Agarwal A.,
Perel A.,
Horsky T.
-
в сборнике 2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432), место издания IEEE
DOI
-