INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016сборник
Год издания:
2016
Серия:
Proceedings of SPIE
Том:
10224
Место издания:
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia
Добавил в систему:
Дедкова Анна Александровна
Статьи, опубликованные в сборнике
2016
Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope
Djuzhev N.A. ,
Gusev E.E. ,
Dedkova A.A. ,
Patiukov N.
в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016 , серия Proceedings of SPIE , место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia , том 10224
DOI