ИСТИНА

Дедкова Анна Александровна пользователь

Московский институт электронной техники

Соавторы: Djuzhev N.A., Гусев Е.Э., Флоринский И.В., Дюжев Н.А., Gusev E.E., Киреев В.Ю., Махиборода М.А., Makhiboroda M.A., Штерн М.Ю., Glagolev P.Y., Kireev V.Y., Tovarnov D.A., Герасименко А.Ю. показать полностью..., Демин Г.Д., Подгаецкий В.М., Glagolev P.Y., Kireev V.Y., Kirilenko E.P., Onufrienko A.P., Грязнева Т.А., Ичкитидзе Л.П., Лычев С.А., Никифоров М.О., Патюков Н.Н., Селищев С.В., Товарнов Д.А., Фомичев М.Ю., Чернышев А.К., Babich A., Bakun A.D., Borisova A.V., Djuzhev N.A., Dubkov S., Fedyanina M.E., Fomichev M.Y., Kharintsev S.S., Migunov D.M., Mitko S.V., Myakon'kikh A.V., Myslivets A.S., Nikiforov M.O., Novak A.V., Novak V.R., Patiukov N., Patyukov N.N., Preobrazhensky R.Y., Presnukhina A.A., Rozel P.A., Sagunova I.V., Salnikov A.A., Sherchenkov A., Skvortsov P.A., Terekhov D., Trifonov A.Y., Tyugaev M.D., Vorobyov Y.V., Yakubov A., Yakubov A.O., ichkitidze L.P., Бакун А.Д., Боргардт Н.И., Киреев В.В., Кириленко Е.П., Клементе И.Э., Ковалёв А.С., Козлов А.О., Корчагин Е.П., Лазаренко П.И., Ларионов В.С., Мазуркин Н.С., Мигунов Д.М., Митько С.В., Мустафоев Б.Р., Мысливец А.С., Мяконьких А.В., Новак А.В., Новак В.Р., Онуфриенко А.П., Преображенский Р.Ю., Преснухина А.А., Рогачев М.С., Розель П.А., Руденко К.В., Рыгалин Б.Н., Сагунова И.В., Тавризова М.А., Трифонов А.Ю., Тюгаев М.Д., Федянина М.Е., Фомичёв М.Ю., Фомичёв М.Ю., Харинцев С.С., Шелаев А.В., Шерченков А.А., Штерн Ю.И., Якубов А.О.

59 статей, 10 докладов на конференциях, 9 тезисов докладов, 5 патентов, 15 свидетельств о регистрации прав на ПО, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 23, Scopus: 31
РИНЦ:

IstinaResearcherID (IRID): 408960780

ResearcherID: M-4019-2016

Scopus Author ID: 56017698000

ORCID: 0000-0002-0616-2145

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2023 Geomorphometry and microelectronic metrology: Converged realms
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V.
    • в журнале Transactions in GIS, издательство Blackwell Publishing Inc. (United Kingdom), том 27, № 6, с. 1642-1661 DOI
  • • 2023 Анализ цифровых моделей рельефа полупроводниковых пластин и структур методами геоморфометрии
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • в журнале Известия высших учебных заведений. Геодезия и аэрофотосъемка, издательство Изд-во Моск. ун-та геодезии и картографии (М.), том 67, № 2, с. 32-40 DOI
  • • 2023 Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Чернышев А.К.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука (СПб.), том 93, № 7, с. 1059-1068 DOI
  • • 2022 Approaches to determining curvature of wafers by their topography
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
    • в журнале Physics Uspekhi, издательство Russian Academy of Sciences (Russian Federation), том 65, № 7, с. 706-722 DOI
  • • 2022 Peculiarities of deformation of round thin-film membranes and experimental determination of their effective characteristics
    • Dedkova A.A., Glagolev P.Y., Gusev E.E., Djuzhev N.A., Kireev V.Y., Lychev S.A., Tovarnov D.A.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 92, № 13 DOI
  • • 2022 Technique for investigation of the shape changes of wafers and thin-film membranes by using geomorphometric approaches
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 92, № 8, с. 933-942 DOI
  • • 2022 Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука (СПб.), том 92, № 8, с. 1253-1260 DOI
  • • 2022 Методика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука (СПб.), том 92, № 8, с. 1113-1123 DOI
  • • 2022 Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
    • в журнале Успехи физических наук, издательство ФГБУ "Издательство "Наука" (Москва), том 192, № 7, с. 754-771 DOI
  • 
    • 2021 Technique for analyzing volumetric defects using digital elevation model of a surface
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V., Gusev E.E., Dyuzhev N.A., Fomichev M.Yu, Shtern M.Yu
    • в журнале Russian Journal of Nondestructive Testing, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 57, № 11, с. 1000-1007 DOI
  • • 2021 Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Фомичев М.Ю., Штерн М.Ю.
    • в журнале Дефектоскопия, № 11, с. 41-48 DOI
  • • 2021 Особенности деформирования круглых тонкопленочных мембран и экспериментальное определение их эффективных характеристик
    • Дедкова А.А., Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Лычев С.А., Товарнов Д.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука (СПб.), том 91, № 10, с. 1454-1465 DOI
  • • 2021 Получение и исследование омических контактов с высокой адгезией к термоэлементам
    • Штерн М.Ю., Козлов А.О., Штерн Ю.И., Рогачев М.С., Корчагин Е.П., Мустафоев Б.Р., Дедкова А.А.
    • в журнале Физика и техника полупроводников, издательство Наука (СПб.), том 55, № 12, с. 1097-1104 DOI
  • • 2020 Contact resistance measurements for the Ge2Sb2Te5 thin films
    • Yakubov A., Sherchenkov A., Lazarenko P., Babich A., Terekhov D., Dedkova A.
    • в журнале Chalcogenide Letters, издательство National Institute of Materials Physics, National Institute of Optoelectronics (Romania), том 17, № 1, с. 1-8
  • 
    • 2020 Experimental Determination of Mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph
    • Djuzhev N.A., Gusev E.E., Dedkova A.A., Tovarnov D.A., Makhiboroda M.A.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 65, № 11, с. 1755-1759 DOI
  • 
    • 2020 Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate
    • Dedkova A.A., Dyuzhev N.A., Gusev E.E., Shtern M.Yu
    • в журнале Russian Journal of Nondestructive Testing, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 56, № 5, с. 452-459 DOI
  • 
    • 2020 Influence of the Degree of Crystallinity on the Dispersion of the Optical Parameters of Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory Thin Films
    • Fedyanina M.E., Lazarenko P.I., Vorobyov Y.V., Kozyukhin S.A., Dedkova A.A., Yakubov A.O., Levitskii V.S., Sagunova I.V., Sherchenkov A.A.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 54, № 13, с. 1775-1783 DOI
  • • 2020 Влияние степени кристалличности на дисперсию оптических параметров тонких пленок фазовой памяти Ge2Sb2Te5
    • Федянина М.Е., Лазаренко П.И., Воробьев Ю.В., Козюхин С.А., Дедкова А.А., Якубов А.О., Левицкий В.С., Сагунова И.В., Шерченков А.А.
    • в журнале Известия высших учебных заведений. Электроника, издательство Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (Москва), том 25, № 3, с. 203-218 DOI
  • • 2020 Влияние технологических параметров процесса атомно-слоевой эпитаксии на однородность толщины зародышевых слоев GaN
    • Никифоров М.О., Дедкова А.А., Рыгалин Б.Н.
    • в журнале Известия высших учебных заведений. Электроника, издательство Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (Москва), том 25, № 3, с. 277-281 DOI
  • • 2020 Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Махиборода М.А.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 20, № 2, с. 23-40 DOI
  • • 2020 Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Штерн М.Ю.
    • в журнале Дефектоскопия, № 5, с. 52-59 DOI
  • • 2020 Применение оптической микроскопии для качественного и количественного анализа поверхности твердых тел
    • Дедкова А.А., Махиборода М.А.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 20, № 2, с. 41-64 DOI
  • • 2020 Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
    • Гусев Е.Э., Фомичёв М.Ю., Махиборода М.А., Дедкова А.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 13, № S4 (99), с. 503-505 DOI
  • • 2020 Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
    • Гусев Е.Э., Фомичёв М.Ю., Махиборода М.А., Дедкова А.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 13, № S5-2 (102), с. 556-559 DOI
  • • 2020 Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа
    • Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Махиборода М.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука (СПб.), том 90, № 11, с. 1838-1842 DOI
  • 
    • 2019 Investigation of gallium nitride island films on sapphire substrates via scanning electron microscopy and spectral ellipsometry
    • Dedkova A.A., Nikiforov M.O., Mitko S.V., Kireev V.Yu
    • в журнале Nanotechnologies in Russia, том 14, № 3-4, с. 176-183 DOI
  • 
    • 2019 Research of the Possibility to Obtain Structures with Nanometer Layer Thicknesses and Sharp-Cut Interfaces between Them Using Ion-Beam and Reactive Ion-Beam Deposition Processes
    • Dedkova A.A., Kireev V.Yu, Myslivets A.S., Rozel P.A., Trifonov A.Yu
    • в журнале Nanotechnologies in Russia, том 14, № 5-6, с. 234-239 DOI
  • 
    • 2019 Stimulated Raman Scattering in Metal-Dielectric Nanocomposites with Spectrally Degenerate Dielectric Constant
    • Tyugaev M.D., Kharitonov A.V., Gazizov A.R., Fishman A.I., Salakhov M.K., Dedkova A.A., Alekseev A.M., Shelaev A.V., Kharintsev S.S.
    • в журнале JETP Letters, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 110, № 12, с. 766-770 DOI
  • • 2019 Вынужденное комбинационное рассеяние света в нанокомпозитах металл-диэлектрик со спектрально вырожденной диэлектрической проницаемостью
    • Тюгаев М.Д., Харитонов А.В., Газизов А.Р., Фишман А.И., Салахов М.Х., Дедкова А.А., Алексеев А.М., Шелаев А.В., Харинцев С.С.
    • в журнале Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики", том 110, № 11-12 (12), с. 772-776 DOI
  • • 2019 Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Мысливец А.С., Розель П.А., Трифонов А.Ю.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 14, № 5-6, с. 50-55 DOI
  • • 2019 Исследование механической прочности двухслойных мембран SiO2/Si3N4
    • Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Глаголев П.Ю.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), № S (89), с. 511-514 DOI
  • • 2019 Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии
    • Дедкова А.А., Никифоров М.О., Митько С.В., Киреев В.Ю.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 14, № 3-4, с. 93-100 DOI
  • 
    • 2018 Dependence of Mechanical Stresses in Silicon Nitride Films on the Mode of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
    • Novak A.V., Novak V.R., Dedkova A.A., Gusev E.E.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 52, № 15, с. 1953-1957 DOI
  • 
    • 2018 Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition
    • Dedkova A.A., Dyuzhev N.A., Kireev V.Yu, Klemente I.E., Myakon'kikh A.V., Rudenko K.V.
    • в журнале Nanotechnologies in Russia, том 13, № 9-10, с. 502-507 DOI
  • • 2018 Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Мазуркин Н.С.
    • в журнале Нано- и микросистемная техника, том 20, № 9, с. 521-527 DOI
  • • 2018 Исследование механической прочности многослойных мембран для мэмс преобразователей физических величин
    • Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), № S (82), с. 538-541 DOI
  • • 2018 Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Клементе И.Э., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 13, № 9-10, с. 51-57 DOI
  • 
    • 2017 Development and study of a conceptual model of an X-ray source with a field emission cathode
    • Djuzhev N.A., Makhiboroda M.A., Preobrazhensky R.Y., Demin G.D., Gusev E.E., Dedkova A.A.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 11, № 2, с. 443-448
  • 
    • 2017 Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices
    • Dyuzhev N.A., Gusev E.E., Gryazneva T.A., Dedkova A.A., Dronova D.A., Kireev V.Y., Kirilenko E.P., Migunov D.M., Novikov D.V., Patyukov N.N., Presnukhina A.A., Bakun A.D., Ermakov D.S.
    • в журнале Nanotechnologies in Russia, том 12, № 7-8, с. 426-437 DOI
  • • 2017 Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждения
    • Новак А.В., Новак В.Р., Дедкова А.А., Гусев Е.Э.
    • в журнале Известия высших учебных заведений. Электроника, издательство Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (Москва), том 22, № 2, с. 138-146 DOI
  • • 2017 Изготовление и исследование параметров и свойств наноструктурированных мембран для МЭМС-приборов
    • Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Грязнева Т.А., Дедкова А.А., Дронова Д.А., Киреев В.Ю., Кириленко Е.П., Мигунов Д.М., Новиков Д.В., Патюков Н.Н., Преснухина А.А., Бакун А.Д., Ермаков Д.С.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 12, № 7-8, с. 97-106 DOI
  • • 2017 Измерение механических напряжений в фрагменте пленки нитрида кремния
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А., Патюков Н.Н.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 17, № 1 (31), с. 51-64
  • • 2017 Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики пленок диоксида кремния
    • Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Ковалёв А.С., Онуфриенко А.П.
    • в журнале Нано- и микросистемная техника, том 19, № 6, с. 331-337 DOI
  • • 2017 Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом
    • Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Преображенский Р.Ю., Демин Г.Д., Гусев Е.Э., Дедкова А.А.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, издательство ФГБУ "Издательство "Наука" (Москва), № 4, с. 64-70 DOI
  • • 2016 Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра
    • Дюжев Н.А., Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Новак А.В.
    • в журнале Известия высших учебных заведений. Электроника, издательство Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (Москва), том 21, № 4, с. 367-372
  • 
    • 2013 A study of preparation techniques and properties of bulk nanocomposites based on aqueous albumin dispersion
    • Gerasimenko A.Yu, Dedkova A.A., Ichkitidze L.P., Podgaetskii V.M., Selishchev S.V.
    • в журнале Optics and Spectroscopy (English translation of Optika i Spektroskopiya), издательство Optical Society of America (United States), том 115, № 2, с. 283-289 DOI
  • • 2013 Исследование способов получения и свойств объемных нанокомпозиционных материалов на основе водной дисперсии альбумина
    • Герасименко А.Ю., Дедкова А.А., Ичкитидзе Л.П., Подгаецкий В.М., Селищев С.В.
    • в журнале Оптика и спектроскопия, том 115, № 2, с. 326-326 DOI
  • • 2012 Исследование биосовместимых объемных композиционных материалов, полученных из водной дисперсии альбумина с углеродными нанотрубками
    • Герасименко А.Ю., Дедкова А.А., Ичкитидзе Л.П., Подгаецкий В.М., Пономарева О.В., Тавризова М.А.
    • в журнале Нанотехника, № 3 (31), с. 39-45

• Статьи в сборниках

  • 
    • 2022 Techniques for analyzing digital elevation models of surface topography of microelectronics objects
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V/, Djuzhev N.A.
    • в сборнике International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE, том 12157, с. 121571K DOI
  • 
    • 2021 Development of Adhesive Wafer Bonding Technology
    • Fomichev M.Y., Makhiboroda M.A., Djuzhev N.A., Dedkova A.A., Gusev E.E.
    • в сборнике Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021, серия IEEE, с. 2558-2562 DOI
  • 
    • 2021 Experimental Study Mechanical Stresses and Strength in Multilayer PECVD SiO2
    • Gusev E.E., Tovarnov D.A., Dedkova A.A., Onufrienko A.P., Djuzhev N.A.
    • в сборнике Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021, серия IEEE, с. 2437-2441 DOI
  • 
    • 2020 Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al
    • Gusev E.E., Tovarnov D.A., Dedkova A.A., Djuzhev N.A.
    • в сборнике IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020, серия IEEE, с. 2299-2302 DOI
  • 
    • 2020 Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections
    • Dedkova A.A., Glagolev P.Yu, Demin G.D., Gusev E.E., Skvortsov P.A.
    • в сборнике Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElConRus), место издания St. Petersburg Electrotechnical University “LETI” Saint Petersburg, с. 2288-2292 DOI
  • • 2019 The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes
    • Gusev Evgeney E., Borisova Anna V., Dedkova Anna A., Salnikov Anton A., Kireev Valeri Yu
    • в сборнике 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), место издания IEEE, с. 1990-1994
  • • 2018 Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements
    • Djuzhev N.A., Gusev E.E., Dedkova A.A., Makhiboroda M.A.
    • в сборнике 6TH INTERNATIONAL CONFERENCE: MODERN TECHNOLOGIES FOR NON-DESTRUCTIVE TESTING, серия IOP Conference Series-Materials Science and Engineering, место издания IOP PUBLISHING LTD [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, R&D Ctr MST & BEC, Moscow, Russia. [Makhiboroda, M. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, NMST, Moscow, Russia, том 289 DOI
  • • 2018 Separation of a Silicon Substrate into Chips by Liquid Etching
    • Djuzhev Nikolai A., Gusev Evgeney E., Dedkova Anna A., Kireev Valeri Yu, Onufrienko Andrei P.
    • в сборнике Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018, с. 1970-1973
  • • 2017 Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler
    • Djuzhev N.A., Dedkova A.A., Gusev E.E., Makhiboroda M.A., Glagolev P.Y.
    • в сборнике 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE: MODERN TECHNOLOGIES FOR NON-DESTRUCTIVE TESTING, серия IOP Conference Series-Materials Science and Engineering, место издания IOP PUBLISHING LTD [Djuzhev, N. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, R&D Ctr MST & BEC, Moscow, Russia. [Dedkova, A. A.; Gusev, E. E.; Makhiboroda, M. A.; Glagolev, P. Y.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, NMST, Moscow, Russia, том 189 DOI
  • • 2016 Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope
    • Djuzhev N.A., Gusev E.E., Dedkova A.A., Patiukov N.
    • в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia, том 10224 DOI
  • • 2014 Study of growth kinetics of amorphous carbon nanopillars formed by PECVD
    • Gromov D., Borgardt N., Grishina Y., Dedkova A., Kirilenko E., Dubkov S.
    • в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia, том 9440 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2023 Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniques (Устный)
    • Авторы: Dedkova A., Florinsky I.
    • 15th International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), Звенигород, Россия, 2-6 октября 2023
  • • 2023 Использование методов геоморфометрии для исследования структур микроэлектроники (Устный)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • Международная научная конференция «Пространственные данные: наука и технологии 2023», Москва, Россия, 22-24 мая 2023
  • • 2023 Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов (Стендовый)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В., Чернышев А.К.
    • XXVII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», Нижний Новгород, Россия, 13-15 марта 2023
  • • 2022 Геоморфометрическое моделирование нанорельефа по данным атомно-силовой микроскопии (Пленарный)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • IX Международная конференция «Математическая биология и биоинформатика», Пущино, Россия, 17-19 октября 2022
  • • 2022 Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания (Стендовый)
    • Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • XXVI Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», НИжний Новгород, Россия, 14-18 марта 2022
  • • 2022 Исследование изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием методов геоморфометрии (Стендовый)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
    • XXVI Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», НИжний Новгород, Россия, 14-18 марта 2022
  • • 2021 Analysis of digital elevation models of silicon wafers and wafer-based structures (Устный)
    • Авторы: Dedkova A., Florinsky I., Djuzhev N.
    • ICMNE-2021, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
  • • 2021 Analysis of topography of silicon wafers and wafer-based structures by geomorphometric modeling (Устный)
    • Авторы: Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
    • Geomorphometry 2021, Perugia, Италия, 13-15 сентября 2021
  • • 2021 Анализ цифровых моделей рельефа кремниевых пластин и структур методами геоморфометрии (Устный)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • Пространственные данные: наука и технологии 2021, МИИГАиК, Россия, 24-26 мая 2021
  • • 2020 Анализ рельефа кремниевых пластин методами геоморфометрии (Устный)
    • Авторы: Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • 13-я Международная конференция «Интеллектуализация обработки информации» (ИОИ-2020), Москва, Россия, 8-11 декабря 2020

• Тезисы докладов

  • • 2023 Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniques
    • Dedkova A., Florinsky I.
    • в сборнике Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts, место издания Maks Press Мoscow, тезисы, с. 144-144
  • • 2023 Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Чернышев А.К.
    • в сборнике Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVII Международного симпозиума. 13–16 марта 2023 г, место издания ИПФ РАН Нижний Новгород, том 2, тезисы, с. 851-852
  • • 2022 Геоморфометрическое моделирование нанорельефа по данным атомно-силовой микроскопии
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • в сборнике Доклады Международной конференции «Математическая биология и биоинформатика», место издания ИМПБ РАН Пущино, том 9, тезисы, с. e49 DOI
  • • 2022 Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • в сборнике Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVI Международного симпозиума, место издания Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского Нижний Новгород, том 1, тезисы, с. 539-540
  • • 2022 Исследование изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием методов геоморфометрии
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
    • в сборнике Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVI Международного симпозиума, место издания Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского Нижний Новгород, том 1, тезисы, с. 541-542
  • • 2021 Analysis of digital elevation models of silicon wafers and wafer-based structures
    • Dedkova A., Florinsky I., Djuzhev N.
    • в сборнике Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts, издательство ООО "МАКС Пресс" (Москва), тезисы, с. 142-142
    • редакторы Лукичев Владимир Федорович, Руденко Константин Васильевич
  • • 2021 Analysis of topography of silicon wafers and wafer-based structures by geomorphometric modeling
    • Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
    • в сборнике Proceedings of the Geomorphometry 2021 Conference, Perugia, Italy, 13–17 Sept. 2021, место издания Zenodo, тезисы, с. 1-4 DOI
  • • 2020 Анализ рельефа кремниевых пластин методами геоморфометрии
    • Дедкова А.А., Флоринский И.В.
    • в сборнике Тезисы докладов 13-й Международной конференции "Интеллектуализация обработки информации", место издания РАН Москва, тезисы, с. 244-245
  • • 2017 Определение механических свойств МЭМС мембран
    • Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Ларионов В.С., Дюжев Н.А.
    • в сборнике Третий междисциплинарный молодежный научный форум с международным участием «Новые материалы», место издания ООО "Буки Веди" Москва, тезисы, с. 251-254

• Патенты

  • • 2022 Способ определения локальной кривизны и формы поверхности пластин и структур
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2771468, 4 мая
  • • 2021 Способ определения механических свойств тонкопленочных мембран, сформированных над круглыми отверстиями
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2758417, 28 октября
  • • 2021 Способ эллипсометрического контроля топографического рельефа, механических напряжений и дефектности пленок на подложках
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2744821, 16 марта
  • • 2020 Способ измерения микрорельефа разнородной поверхности
    • Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • #2718404, 2 апреля
  • • 2017 Способ измерения механических напряжений в МЭМС-структурах
    • Авторы: Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Дедкова А.А., Патюков Н.Н.
    • #2624611, 4 июля

• Свидетельства о регистрации прав на программное обеспечение

  • • 2022 Программа обработки результатов измерений мембран для определения степени их сферичности и распределения радиуса кривизны (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2022618952, 18 мая
  • • 2021 Программа обработки результатов измерений круглых в плане деформированных мембран для определения их эффективного прогиба с восстановлением данных в области закрепления мембран (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2021660076, 22 июня
  • • 2020 Программа расчета кривизны в цилиндрических и в декартовых координатах (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020664130, 9 ноября
  • • 2020 Программа определения локальных радиусов кривизны в двух направлениях (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020664091, 6 ноября
  • • 2020 Программа сглаживания ступенчатой топографии поверхности на основе полиномов (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020663889, 3 ноября
  • • 2020 Программа определения радиуса кривизны по топографии поверхности, форма которой подобна сферическому сегменту (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020663887, 3 ноября
  • • 2020 Программа расчета радиуса кривизны по профилю поверхности, форма которого подобна профилю сферического сегмента (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020663855, 3 ноября
  • • 2020 Программа обработки данных топографии поверхности для расчета кривизны поверхности (SOFT)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • #2020663804, 2 ноября
  • • 2020 Программа обработки данных измерений деформированных мембранных структур для определения их эффективного прогиба (SOFT)
    • Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • #2020613138, 11 марта
  • • 2019 Программа обработки данных серии измерений мембранных структур для определения их прогиба и качественных особенностей (SOFT)
    • Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • #2019663188, 11 октября
  • • 2018 Программа определения в контрольных точках значения толщины нанесенных тонких пленок и ее распределения по площади подложек на структурах с неравномерными по толщине подслоями (SOFT)
    • Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
    • #2018666198, 13 декабря
  • • 2018 Программа обработки фрагментарных изображений для анализа рельефа на структурах большой площади (SOFT)
    • Авторы: Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А.
    • #2018665456, 5 декабря
  • • 2018 Программа обработки изображений растровой электронной микроскопии для анализа неоднородностей и частиц в пленках (SOFT)
    • Авторы: Дедкова A.А., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А.
    • #2018664620, 20 ноября
  • • 2018 Программа расчёта величины избыточного давления в МЭМС мембранах (SOFT)
    • Авторы: Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Дедкова А.А.
    • #2018662003, 25 сентября
  • • 2016 Программа анализа рельефа с целью расчета величины кривизны поверхности в выбранном направлении на кремниевой пластине (SOFT)
    • Авторы: Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Чиненков М.Ю.
    • #2016611518, 4 февраля

• Диссертация

  • • 2022 Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
    • Кандидатская диссертация по специальности 05.11.13 - Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий (техн. науки)
    • Автор: Дедкова А.А.
    • Научный руководитель: Штерн М.Ю., к.т.н.
    • Защищена в совете 24.2.342.01 при НИУ МИЭТ
    • Организация, в которой выполнялась работа: НИУ МИЭТ