Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
открыть новую версию профиля
Дедкова Анна Александровна
пользователь
Московский институт электронной техники
Соавторы:
Djuzhev N.A.
,
Гусев Е.Э.
,
Флоринский И.В.
,
Дюжев Н.А.
,
Gusev E.E.
,
Киреев В.Ю.
,
Махиборода М.А.
,
Makhiboroda M.A.
,
Штерн М.Ю.
,
Glagolev P.Y.
,
Kireev V.Y.
,
Tovarnov D.A.
,
Герасименко А.Ю.
показать полностью...
,
Демин Г.Д.
,
Подгаецкий В.М.
,
Glagolev P.Y.
,
Kireev V.Y.
,
Kirilenko E.P.
,
Onufrienko A.P.
,
Грязнева Т.А.
,
Ичкитидзе Л.П.
,
Лычев С.А.
,
Никифоров М.О.
,
Патюков Н.Н.
,
Селищев С.В.
,
Товарнов Д.А.
,
Фомичев М.Ю.
,
Чернышев А.К.
,
Babich A.
,
Bakun A.D.
,
Borisova A.V.
,
Djuzhev N.A.
,
Dubkov S.
,
Fedyanina M.E.
,
Fomichev M.Y.
,
Kharintsev S.S.
,
Migunov D.M.
,
Mitko S.V.
,
Myakon'kikh A.V.
,
Myslivets A.S.
,
Nikiforov M.O.
,
Novak A.V.
,
Novak V.R.
,
Patiukov N.
,
Patyukov N.N.
,
Preobrazhensky R.Y.
,
Presnukhina A.A.
,
Rozel P.A.
,
Sagunova I.V.
,
Salnikov A.A.
,
Sherchenkov A.
,
Skvortsov P.A.
,
Terekhov D.
,
Trifonov A.Y.
,
Tyugaev M.D.
,
Vorobyov Y.V.
,
Yakubov A.
,
Yakubov A.O.
,
ichkitidze L.P.
,
Бакун А.Д.
,
Боргардт Н.И.
,
Киреев В.В.
,
Кириленко Е.П.
,
Клементе И.Э.
,
Ковалёв А.С.
,
Козлов А.О.
,
Корчагин Е.П.
,
Лазаренко П.И.
,
Ларионов В.С.
,
Мазуркин Н.С.
,
Мигунов Д.М.
,
Митько С.В.
,
Мустафоев Б.Р.
,
Мысливец А.С.
,
Мяконьких А.В.
,
Новак А.В.
,
Новак В.Р.
,
Онуфриенко А.П.
,
Преображенский Р.Ю.
,
Преснухина А.А.
,
Рогачев М.С.
,
Розель П.А.
,
Руденко К.В.
,
Рыгалин Б.Н.
,
Сагунова И.В.
,
Тавризова М.А.
,
Трифонов А.Ю.
,
Тюгаев М.Д.
,
Федянина М.Е.
,
Фомичёв М.Ю.
,
Фомичёв М.Ю.
,
Харинцев С.С.
,
Шелаев А.В.
,
Шерченков А.А.
,
Штерн Ю.И.
,
Якубов А.О.
59 статей
,
10 докладов на конференциях
,
9 тезисов докладов
,
5 патентов
,
15 свидетельств о регистрации прав на ПО
,
1 диссертация
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 23, Scopus: 31
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 408960780
ResearcherID:
M-4019-2016
Scopus Author ID:
56017698000
ORCID:
0000-0002-0616-2145
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Geomorphometry and microelectronic metrology: Converged realms
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
в журнале
Transactions in GIS
, издательство
Blackwell Publishing Inc.
(United Kingdom)
, том 27, № 6, с. 1642-1661
DOI
2023
Анализ цифровых моделей рельефа полупроводниковых пластин и структур методами геоморфометрии
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
в журнале
Известия высших учебных заведений. Геодезия и аэрофотосъемка
, издательство
Изд-во Моск. ун-та геодезии и картографии
(М.)
, том 67, № 2, с. 32-40
DOI
2023
Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Чернышев А.К.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 93, № 7, с. 1059-1068
DOI
2022
Approaches to determining curvature of wafers by their topography
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Djuzhev N.A.
в журнале
Physics Uspekhi
, издательство
Russian Academy of Sciences
(Russian Federation)
, том 65, № 7, с. 706-722
DOI
2022
Peculiarities of deformation of round thin-film membranes and experimental determination of their effective characteristics
Dedkova A.A.
,
Glagolev P.Y.
,
Gusev E.E.
,
Djuzhev N.A.
,
Kireev V.Y.
,
Lychev S.A.
, Tovarnov D.A.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 92, № 13
DOI
2022
Technique for investigation of the shape changes of wafers and thin-film membranes by using geomorphometric approaches
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Djuzhev N.A.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 92, № 8, с. 933-942
DOI
2022
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 92, № 8, с. 1253-1260
DOI
2022
Методика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 92, № 8, с. 1113-1123
DOI
2022
Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Успехи физических наук
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 192, № 7, с. 754-771
DOI
2021
Technique for analyzing volumetric defects using digital elevation model of a surface
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Gusev E.E.
,
Dyuzhev N.A.
,
Fomichev M.Yu
,
Shtern M.Yu
в журнале
Russian Journal of Nondestructive Testing
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 57, № 11, с. 1000-1007
DOI
2021
Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Гусев Е.Э.
,
Дюжев Н.А.
,
Фомичев М.Ю.
,
Штерн М.Ю.
в журнале
Дефектоскопия
, № 11, с. 41-48
DOI
2021
Особенности деформирования круглых тонкопленочных мембран и экспериментальное определение их эффективных характеристик
Дедкова А.А.
,
Глаголев П.Ю.
, Гусев Е.Э.,
Дюжев Н.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Лычев С.А.
,
Товарнов Д.А.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 91, № 10, с. 1454-1465
DOI
2021
Получение и исследование омических контактов с высокой адгезией к термоэлементам
Штерн М.Ю.
,
Козлов А.О.
,
Штерн Ю.И.
,
Рогачев М.С.
,
Корчагин Е.П.
,
Мустафоев Б.Р.
,
Дедкова А.А.
в журнале
Физика и техника полупроводников
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 55, № 12, с. 1097-1104
DOI
2020
Contact resistance measurements for the Ge2Sb2Te5 thin films
Yakubov A.
,
Sherchenkov A.
,
Lazarenko P.
,
Babich A.
,
Terekhov D.
,
Dedkova A.
в журнале
Chalcogenide Letters
, издательство
National Institute of Materials Physics, National Institute of Optoelectronics
(Romania)
, том 17, № 1, с. 1-8
2020
Experimental Determination of Mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph
Djuzhev N.A.
,
Gusev E.E.
,
Dedkova A.A.
,
Tovarnov D.A.
,
Makhiboroda M.A.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 65, № 11, с. 1755-1759
DOI
2020
Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate
Dedkova A.A.
,
Dyuzhev N.A.
,
Gusev E.E.
,
Shtern M.Yu
в журнале
Russian Journal of Nondestructive Testing
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 56, № 5, с. 452-459
DOI
2020
Influence of the Degree of Crystallinity on the Dispersion of the Optical Parameters of Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory Thin Films
Fedyanina M.E.
, Lazarenko P.I.,
Vorobyov Y.V.
, Kozyukhin S.A.,
Dedkova A.A.
,
Yakubov A.O.
, Levitskii V.S.,
Sagunova I.V.
, Sherchenkov A.A.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Springer
(New York)
, том 54, № 13, с. 1775-1783
DOI
2020
Влияние степени кристалличности на дисперсию оптических параметров тонких пленок фазовой памяти Ge2Sb2Te5
Федянина М.Е.
, Лазаренко П.И., Воробьев Ю.В., Козюхин С.А.,
Дедкова А.А.
,
Якубов А.О.
, Левицкий В.С.,
Сагунова И.В.
,
Шерченков А.А.
в журнале
Известия высших учебных заведений. Электроника
, издательство
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
(Москва)
, том 25, № 3, с. 203-218
DOI
2020
Влияние технологических параметров процесса атомно-слоевой эпитаксии на однородность толщины зародышевых слоев GaN
Никифоров М.О.
,
Дедкова А.А.
,
Рыгалин Б.Н.
в журнале
Известия высших учебных заведений. Электроника
, издательство
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
(Москва)
, том 25, № 3, с. 277-281
DOI
2020
Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев
Дедкова А.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Махиборода М.А.
в журнале
Наноструктуры. Математическая физика и моделирование
, том 20, № 2, с. 23-40
DOI
2020
Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Штерн М.Ю.
в журнале
Дефектоскопия
, № 5, с. 52-59
DOI
2020
Применение оптической микроскопии для качественного и количественного анализа поверхности твердых тел
Дедкова А.А.
,
Махиборода М.А.
в журнале
Наноструктуры. Математическая физика и моделирование
, том 20, № 2, с. 41-64
DOI
2020
Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
Гусев Е.Э.
,
Фомичёв М.Ю.
,
Махиборода М.А.
,
Дедкова А.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 13, № S4 (99), с. 503-505
DOI
2020
Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
Гусев Е.Э.
,
Фомичёв М.Ю.
,
Махиборода М.А.
,
Дедкова А.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 13, № S5-2 (102), с. 556-559
DOI
2020
Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа
Дюжев Н.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
,
Товарнов Д.А.
,
Махиборода М.А.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 90, № 11, с. 1838-1842
DOI
2019
Investigation of gallium nitride island films on sapphire substrates via scanning electron microscopy and spectral ellipsometry
Dedkova A.A.
,
Nikiforov M.O.
,
Mitko S.V.
,
Kireev V.Yu
в журнале
Nanotechnologies in Russia
, том 14, № 3-4, с. 176-183
DOI
2019
Research of the Possibility to Obtain Structures with Nanometer Layer Thicknesses and Sharp-Cut Interfaces between Them Using Ion-Beam and Reactive Ion-Beam Deposition Processes
Dedkova A.A.
,
Kireev V.Yu
,
Myslivets A.S.
,
Rozel P.A.
,
Trifonov A.Yu
в журнале
Nanotechnologies in Russia
, том 14, № 5-6, с. 234-239
DOI
2019
Stimulated Raman Scattering in Metal-Dielectric Nanocomposites with Spectrally Degenerate Dielectric Constant
Tyugaev M.D.
, Kharitonov A.V., Gazizov A.R., Fishman A.I., Salakhov M.K.,
Dedkova A.A.
, Alekseev A.M.,
Shelaev A.V.
,
Kharintsev S.S.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 110, № 12, с. 766-770
DOI
2019
Вынужденное комбинационное рассеяние света в нанокомпозитах металл-диэлектрик со спектрально вырожденной диэлектрической проницаемостью
Тюгаев М.Д.
, Харитонов А.В., Газизов А.Р., Фишман А.И., Салахов М.Х.,
Дедкова А.А.
, Алексеев А.М., Шелаев А.В.,
Харинцев С.С.
в журнале
Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
, том 110, № 11-12 (12), с. 772-776
DOI
2019
Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения
Дедкова А.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Мысливец А.С.
,
Розель П.А.
,
Трифонов А.Ю.
в журнале
Российские нанотехнологии
, издательство
Парк-медиа
(М.)
, том 14, № 5-6, с. 50-55
DOI
2019
Исследование механической прочности двухслойных мембран SiO2/Si3N4
Дюжев Н.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
,
Глаголев П.Ю.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, № S (89), с. 511-514
DOI
2019
Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии
Дедкова А.А.
,
Никифоров М.О.
,
Митько С.В.
,
Киреев В.Ю.
в журнале
Российские нанотехнологии
, издательство
Парк-медиа
(М.)
, том 14, № 3-4, с. 93-100
DOI
2018
Dependence of Mechanical Stresses in Silicon Nitride Films on the Mode of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
Novak A.V.
,
Novak V.R.
,
Dedkova A.A.
,
Gusev E.E.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Springer
(New York)
, том 52, № 15, с. 1953-1957
DOI
2018
Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition
Dedkova A.A.
,
Dyuzhev N.A.
,
Kireev V.Yu
, Klemente I.E.,
Myakon'kikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Nanotechnologies in Russia
, том 13, № 9-10, с. 502-507
DOI
2018
Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра
Дедкова А.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Мазуркин Н.С.
в журнале
Нано- и микросистемная техника
, том 20, № 9, с. 521-527
DOI
2018
Исследование механической прочности многослойных мембран для мэмс преобразователей физических величин
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, № S (82), с. 538-541
DOI
2018
Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Клементе И.Э.
,
Мяконьких А.В.
, Руденко К.В.
в журнале
Российские нанотехнологии
, издательство
Парк-медиа
(М.)
, том 13, № 9-10, с. 51-57
DOI
2017
Development and study of a conceptual model of an X-ray source with a field emission cathode
Djuzhev N.A.
,
Makhiboroda M.A.
,
Preobrazhensky R.Y.
,
Demin G.D.
,
Gusev E.E.
,
Dedkova A.A.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 11, № 2, с. 443-448
2017
Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices
Dyuzhev N.A.
,
Gusev E.E.
,
Gryazneva T.A.
,
Dedkova A.A.
, Dronova D.A.,
Kireev V.Y.
,
Kirilenko E.P.
,
Migunov D.M.
, Novikov D.V.,
Patyukov N.N.
,
Presnukhina A.A.
,
Bakun A.D.
, Ermakov D.S.
в журнале
Nanotechnologies in Russia
, том 12, № 7-8, с. 426-437
DOI
2017
Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждения
Новак А.В.,
Новак В.Р.
,
Дедкова А.А.
,
Гусев Е.Э.
в журнале
Известия высших учебных заведений. Электроника
, издательство
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
(Москва)
, том 22, № 2, с. 138-146
DOI
2017
Изготовление и исследование параметров и свойств наноструктурированных мембран для МЭМС-приборов
Дюжев Н.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Грязнева Т.А.
,
Дедкова А.А.
, Дронова Д.А.,
Киреев В.Ю.
,
Кириленко Е.П.
,
Мигунов Д.М.
, Новиков Д.В.,
Патюков Н.Н.
,
Преснухина А.А.
,
Бакун А.Д.
, Ермаков Д.С.
в журнале
Российские нанотехнологии
, издательство
Парк-медиа
(М.)
, том 12, № 7-8, с. 97-106
DOI
2017
Измерение механических напряжений в фрагменте пленки нитрида кремния
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Махиборода М.А.
,
Патюков Н.Н.
в журнале
Наноструктуры. Математическая физика и моделирование
, том 17, № 1 (31), с. 51-64
2017
Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики пленок диоксида кремния
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Ковалёв А.С.
,
Онуфриенко А.П.
в журнале
Нано- и микросистемная техника
, том 19, № 6, с. 331-337
DOI
2017
Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом
Дюжев Н.А.
,
Махиборода М.А.
,
Преображенский Р.Ю.
,
Демин Г.Д.
,
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 4, с. 64-70
DOI
2016
Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра
Дюжев Н.А.
,
Дедкова А.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Новак А.В.
в журнале
Известия высших учебных заведений. Электроника
, издательство
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
(Москва)
, том 21, № 4, с. 367-372
2013
A study of preparation techniques and properties of bulk nanocomposites based on aqueous albumin dispersion
Gerasimenko A.Yu
,
Dedkova A.A.
,
Ichkitidze L.P.
,
Podgaetskii V.M.
,
Selishchev S.V.
в журнале
Optics and Spectroscopy (English translation of Optika i Spektroskopiya)
, издательство
Optical Society of America
(United States)
, том 115, № 2, с. 283-289
DOI
2013
Исследование способов получения и свойств объемных нанокомпозиционных материалов на основе водной дисперсии альбумина
Герасименко А.Ю.
,
Дедкова А.А.
,
Ичкитидзе Л.П.
,
Подгаецкий В.М.
,
Селищев С.В.
в журнале
Оптика и спектроскопия
, том 115, № 2, с. 326-326
DOI
2012
Исследование биосовместимых объемных композиционных материалов, полученных из водной дисперсии альбумина с углеродными нанотрубками
Герасименко А.Ю.
,
Дедкова А.А.
,
Ичкитидзе Л.П.
,
Подгаецкий В.М.
, Пономарева О.В.,
Тавризова М.А.
в журнале
Нанотехника
, № 3 (31), с. 39-45
Статьи в сборниках
2022
Techniques for analyzing digital elevation models of surface topography of microelectronics objects
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V/
,
Djuzhev N.A.
в сборнике
International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021
, серия
Proceedings of SPIE
, место издания
SPIE
, том 12157, с. 121571K
DOI
2021
Development of Adhesive Wafer Bonding Technology
Fomichev M.Y.
,
Makhiboroda M.A.
,
Djuzhev N.A.
,
Dedkova A.A.
,
Gusev E.E.
в сборнике
Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021
, серия
IEEE
, с. 2558-2562
DOI
2021
Experimental Study Mechanical Stresses and Strength in Multilayer PECVD SiO2
Gusev E.E.
,
Tovarnov D.A.
,
Dedkova A.A.
,
Onufrienko A.P.
,
Djuzhev N.A.
в сборнике
Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021
, серия
IEEE
, с. 2437-2441
DOI
2020
Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al
Gusev E.E.
,
Tovarnov D.A.
,
Dedkova A.A.
,
Djuzhev N.A.
в сборнике
IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020
, серия
IEEE
, с. 2299-2302
DOI
2020
Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections
Dedkova A.A.
,
Glagolev P.Yu
,
Demin G.D.
,
Gusev E.E.
,
Skvortsov P.A.
в сборнике
Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElConRus)
, место издания
St. Petersburg Electrotechnical University “LETI” Saint Petersburg
, с. 2288-2292
DOI
2019
The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes
Gusev Evgeney E.
,
Borisova Anna V.
,
Dedkova Anna A.
,
Salnikov Anton A.
,
Kireev Valeri Yu
в сборнике
2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus)
, место издания
IEEE
, с. 1990-1994
2018
Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements
Djuzhev N.A.
,
Gusev E.E.
,
Dedkova A.A.
,
Makhiboroda M.A.
в сборнике
6TH INTERNATIONAL CONFERENCE: MODERN TECHNOLOGIES FOR NON-DESTRUCTIVE TESTING
, серия
IOP Conference Series-Materials Science and Engineering
, место издания
IOP PUBLISHING LTD [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, R&D Ctr MST & BEC, Moscow, Russia. [Makhiboroda, M. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, NMST, Moscow, Russia
, том 289
DOI
2018
Separation of a Silicon Substrate into Chips by Liquid Etching
Djuzhev Nikolai A.
,
Gusev Evgeney E.
,
Dedkova Anna A.
,
Kireev Valeri Yu
,
Onufrienko Andrei P.
в сборнике
Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018
, с. 1970-1973
2017
Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler
Djuzhev N.A.
,
Dedkova A.A.
,
Gusev E.E.
,
Makhiboroda M.A.
,
Glagolev P.Y.
в сборнике
5TH INTERNATIONAL CONFERENCE: MODERN TECHNOLOGIES FOR NON-DESTRUCTIVE TESTING
, серия
IOP Conference Series-Materials Science and Engineering
, место издания
IOP PUBLISHING LTD [Djuzhev, N. A.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, R&D Ctr MST & BEC, Moscow, Russia. [Dedkova, A. A.; Gusev, E. E.; Makhiboroda, M. A.; Glagolev, P. Y.] Natl Res Univ Elect Technol MIET, NMST, Moscow, Russia
, том 189
DOI
2016
Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope
Djuzhev N.A.
,
Gusev E.E.
,
Dedkova A.A.
,
Patiukov N.
в сборнике
INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016
, серия
Proceedings of SPIE
, место издания
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia
, том 10224
DOI
2014
Study of growth kinetics of amorphous carbon nanopillars formed by PECVD
Gromov D.,
Borgardt N.
, Grishina Y.,
Dedkova A.
,
Kirilenko E.
,
Dubkov S.
в сборнике
INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014
, серия
Proceedings of SPIE
, место издания
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia
, том 9440
DOI
Доклады на конференциях
2023
Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniques
(Устный)
Авторы:
Dedkova A.
,
Florinsky I.
15th International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023)
, Звенигород, Россия, 2-6 октября 2023
2023
Использование методов геоморфометрии для исследования структур микроэлектроники
(Устный)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
Международная научная конференция «Пространственные данные: наука и технологии 2023»
, Москва, Россия, 22-24 мая 2023
2023
Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
(Стендовый)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Чернышев А.К.
XXVII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
, Нижний Новгород, Россия, 13-15 марта 2023
2022
Геоморфометрическое моделирование нанорельефа по данным атомно-силовой микроскопии
(Пленарный)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
IX Международная конференция «Математическая биология и биоинформатика»
, Пущино, Россия, 17-19 октября 2022
2022
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
(Стендовый)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
XXVI Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
, НИжний Новгород, Россия, 14-18 марта 2022
2022
Исследование изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием методов геоморфометрии
(Стендовый)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Дюжев Н.А.
XXVI Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
, НИжний Новгород, Россия, 14-18 марта 2022
2021
Analysis of digital elevation models of silicon wafers and wafer-based structures
(Устный)
Авторы:
Dedkova A.
,
Florinsky I.
,
Djuzhev N.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2021
Analysis of topography of silicon wafers and wafer-based structures by geomorphometric modeling
(Устный)
Авторы:
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Djuzhev N.A.
Geomorphometry 2021
, Perugia, Италия, 13-15 сентября 2021
2021
Анализ цифровых моделей рельефа кремниевых пластин и структур методами геоморфометрии
(Устный)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
Пространственные данные: наука и технологии 2021
, МИИГАиК, Россия, 24-26 мая 2021
2020
Анализ рельефа кремниевых пластин методами геоморфометрии
(Устный)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
13-я Международная конференция «Интеллектуализация обработки информации» (ИОИ-2020)
, Москва, Россия, 8-11 декабря 2020
Тезисы докладов
2023
Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniques
Dedkova A.
,
Florinsky I.
в сборнике
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
, место издания
Maks Press Мoscow
, тезисы, с. 144-144
2023
Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Чернышев А.К.
в сборнике
Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVII Международного симпозиума. 13–16 марта 2023 г
, место издания
ИПФ РАН Нижний Новгород
, том 2, тезисы, с. 851-852
2022
Геоморфометрическое моделирование нанорельефа по данным атомно-силовой микроскопии
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
в сборнике
Доклады Международной конференции «Математическая биология и биоинформатика»
, место издания
ИМПБ РАН Пущино
, том 9, тезисы, с. e49
DOI
2022
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
в сборнике
Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVI Международного симпозиума
, место издания
Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского Нижний Новгород
, том 1, тезисы, с. 539-540
2022
Исследование изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием методов геоморфометрии
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
,
Дюжев Н.А.
в сборнике
Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVI Международного симпозиума
, место издания
Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского Нижний Новгород
, том 1, тезисы, с. 541-542
2021
Analysis of digital elevation models of silicon wafers and wafer-based structures
Dedkova A.
,
Florinsky I.
,
Djuzhev N.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. 142-142
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2021
Analysis of topography of silicon wafers and wafer-based structures by geomorphometric modeling
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Djuzhev N.A.
в сборнике
Proceedings of the Geomorphometry 2021 Conference, Perugia, Italy, 13–17 Sept. 2021
, место издания
Zenodo
, тезисы, с. 1-4
DOI
2020
Анализ рельефа кремниевых пластин методами геоморфометрии
Дедкова А.А.
,
Флоринский И.В.
в сборнике
Тезисы докладов 13-й Международной конференции "Интеллектуализация обработки информации"
, место издания
РАН Москва
, тезисы, с. 244-245
2017
Определение механических свойств МЭМС мембран
Дедкова А.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Ларионов В.С.
,
Дюжев Н.А.
в сборнике
Третий междисциплинарный молодежный научный форум с международным участием «Новые материалы»
, место издания
ООО "Буки Веди" Москва
, тезисы, с. 251-254
Патенты
2022
Способ определения локальной кривизны и формы поверхности пластин и структур
Автор:
Дедкова А.А.
#2771468, 4 мая
2021
Способ определения механических свойств тонкопленочных мембран, сформированных над круглыми отверстиями
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Беспалов В.А.
,
Переверзев А.Л.
#2758417, 28 октября
2021
Способ эллипсометрического контроля топографического рельефа, механических напряжений и дефектности пленок на подложках
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Беспалов В.А.
,
Переверзев А.Л.
#2744821, 16 марта
2020
Способ измерения микрорельефа разнородной поверхности
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
#2718404, 2 апреля
2017
Способ измерения механических напряжений в МЭМС-структурах
Авторы:
Гусев Е.Э.
,
Дюжев Н.А.
,
Дедкова А.А.
,
Патюков Н.Н.
#2624611, 4 июля
Свидетельства о регистрации прав на программное обеспечение
2022
Программа обработки результатов измерений мембран для определения степени их сферичности и распределения радиуса кривизны (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2022618952, 18 мая
2021
Программа обработки результатов измерений круглых в плане деформированных мембран для определения их эффективного прогиба с восстановлением данных в области закрепления мембран (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2021660076, 22 июня
2020
Программа расчета кривизны в цилиндрических и в декартовых координатах (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020664130, 9 ноября
2020
Программа определения локальных радиусов кривизны в двух направлениях (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020664091, 6 ноября
2020
Программа сглаживания ступенчатой топографии поверхности на основе полиномов (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020663889, 3 ноября
2020
Программа определения радиуса кривизны по топографии поверхности, форма которой подобна сферическому сегменту (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020663887, 3 ноября
2020
Программа расчета радиуса кривизны по профилю поверхности, форма которого подобна профилю сферического сегмента (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020663855, 3 ноября
2020
Программа обработки данных топографии поверхности для расчета кривизны поверхности (SOFT)
Автор:
Дедкова А.А.
#2020663804, 2 ноября
2020
Программа обработки данных измерений деформированных мембранных структур для определения их эффективного прогиба (SOFT)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
#2020613138, 11 марта
2019
Программа обработки данных серии измерений мембранных структур для определения их прогиба и качественных особенностей (SOFT)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
#2019663188, 11 октября
2018
Программа определения в контрольных точках значения толщины нанесенных тонких пленок и ее распределения по площади подложек на структурах с неравномерными по толщине подслоями (SOFT)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
#2018666198, 13 декабря
2018
Программа обработки фрагментарных изображений для анализа рельефа на структурах большой площади (SOFT)
Авторы:
Дедкова А.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Дюжев Н.А.
#2018665456, 5 декабря
2018
Программа обработки изображений растровой электронной микроскопии для анализа неоднородностей и частиц в пленках (SOFT)
Авторы:
Дедкова A.А.
,
Гусев Е.Э.
,
Дюжев Н.А.
#2018664620, 20 ноября
2018
Программа расчёта величины избыточного давления в МЭМС мембранах (SOFT)
Авторы:
Гусев Е.Э.
,
Дюжев Н.А.
,
Дедкова А.А.
#2018662003, 25 сентября
2016
Программа анализа рельефа с целью расчета величины кривизны поверхности в выбранном направлении на кремниевой пластине (SOFT)
Авторы:
Гусев Е.Э.
,
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Чиненков М.Ю.
#2016611518, 4 февраля
Диссертация
2022
Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
Кандидатская диссертация по специальности 05.11.13 - Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий (техн. науки)
Автор:
Дедкова А.А.
Научный руководитель:
Штерн М.Ю.
, к.т.н.
Защищена в совете
24.2.342.01
при НИУ МИЭТ
Организация, в которой выполнялась работа:
НИУ МИЭТ