|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Micromachiningсборник
- Год издания: 2019
- Коллективная монография
- Место издания: Intech Open London
- Добавил в систему: Зефирова Виктория Львовна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2019 Physical Processes and Plasma Parameters in a Radio-Frequency Hybrid Plasma System for Thin-Film Production with Ion Assistance
- Kralkina E., Alexandrov A.F., Nekludova P., Nikonov A., Pavlov V.B., Vavilin K., Odinokov V., Sologub V.
- в сборнике Micromachining, место издания Intech Open London, с. 1-18 DOI