|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"сборник
- Год издания: 2011
- Место издания: Казаннь
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2011 Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разряда
- Рябый В.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
- в сборнике Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов", место издания Казаннь, тезисы, с. 265-266