|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разрядатезисы доклада
- Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
- Сборник: Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"
- Тезисы
- Год издания: 2011
- Место издания: Казаннь
- Первая страница: 265
- Последняя страница: 266
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич