|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Carpio Ronald A.
Соавторы: Wagner L., Zhang Y., Голубцов П.В.
1 статья
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 1
IstinaResearcherID (IRID): 41642813
Деятельность
стиль:
обычный |
ГОСТ |
plain |
abbrv |
acm |
alpha |
amsalpha |
amsplain |
apalike |
ieeetr |
siam
-
Статьи в сборниках
-
- 1999 Wafer mapping for stepper effects characterization
- Zhang Yuan, Carpio Ronald A., Wagner Lucian, Golubtsov Peter V.
- в сборнике Proc. SPIE, серия Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIII, место издания SPIE-Intl Soc Optical Eng, том 3677, с. 250-254 DOI
-