УДАЛЕНИЕ ПЛЕНОК А-С:Н, ОСАЖДЕННЫХ НА МО, ОКИСЛЕНИЕ МО И ВОССТАНОВЛЕНИЕ МоОх В РАЗРЯДАХ O2 И D2статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] УДАЛЕНИЕ ПЛЕНОК А-С:Н, ОСАЖДЕННЫХ НА МО, ОКИСЛЕНИЕ МО И ВОССТАНОВЛЕНИЕ МоОх В РАЗРЯДАХ o2 И d2 / А. Е. Городецкий, Р. Х. Залавутдинов, В. Л. Буховец и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2015. — № 10. — С. 85–93. Исследованы особенности удаления пленок а-С:Н и окисления Мо в проточном тлеющем разряде кислорода, а также восстановления оксида молибдена в разряде дейтерия (T = 300–320 K). После удаления углерода в условиях O2-разряда на крупноблочном молибдене с преимущественной ориентацией Мо(110) формировался стационарный слой оксида МоO3 с предельной толщиной 25–30 нм. Оксидные пленки были восстановлены в дейтериевой плазме с селективным коэффициентом распыления масштаба 0.01 ат. О/ион D . Использование кислородного разряда для очистки молибденовых внутренних поверхностей термоядерного реактора от углеводородных отложений потребует дополнительной последующей экспозиции рабочей камеры в дейтериевой плазме в течение 8–10 ч для удаления кислорода из образовавшихся оксидных слоев -МоО3 с предельным содержанием кислорода 4–4.5 мкг/см2.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть