|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Методы локального анализа и анализа поверхности в микроэлектроникестатья
- Авторы: Борзенко А.Г., Гимельфарб Ф.А., Меньшиков О.Д., Харкевич С.И.
- Сборник: В кн. "Физико-химические процессы в микроэлектронике
- Глава в коллективной монографии
- Год издания: 1990
- Место издания: Москва
- Первая страница: 262
- Последняя страница: 277
- Добавил в систему: Борзенко Андрей Геннадьевич