|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Decaborane, an alternative approach to ultra low energy ion implantationстатья
- Авторы: Jacobson D.C., Bourdelle K., Gossmann H.J., Sosnowski M., Albano M.A., Babaram V., Poate J.M., Agarwal A., Perel A., Horsky T.
- Сборник: 2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432)
- Год издания: 2000
- Место издания: IEEE
- DOI: 10.1109/iit.2000.924148
- Добавил в систему: Бурдель Константин Константинович