|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Моделирование функционализации поверхности low-k диэлектриков в тренчах высокочастотной плазмой с электронным пучкомтезисы доклада
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Сборник: Сборник тезисов докладов 52 Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна