Сборник тезисов докладов 52 Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристалламисборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2023 Моделирование функционализации поверхности low-k диэлектриков в тренчах высокочастотной плазмой с электронным пучком
  • Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
  • в сборнике Сборник тезисов докладов 52 Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, тезисы
• • 2023 Электризация кварцевых стекол электронными пучками
  • Зыкова Е.Ю., Иешкин А.Е., Орликовская Н.Г., Рау Э.И., Татаринцев А.А.
  • в сборнике Сборник тезисов докладов 52 Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, тезисы, с. 169-169