Аннотация:Настоящий обзор посвящен вопросам рассеяния низкоэнергетических ионов поверхностью твердых тел. Помимо общих вопросов, рассмотрены оригинальные результаты, полученные сотрудниками кафедры электроники физического факультета МГУ им. М.В. Ломоносова, которые положили начало новым направлениям в исследовании рассеяния медленных ионов. Уделяется внимание, как экспериментальным данным, так и результатам компьютерного моделирования. Важной составной частью обзора является раздел, посвященный зарядовому обмену рассеиваемых частиц с поверхностью и с наноструктурами.