|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Распределение радиационных дефектов по глубине при ионном облучении кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Новиков Н.В., Чеченин Н.Г., Широкова А.А.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 1
- Год издания: 2023
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 50
- Последняя страница: 54
- DOI: 10.31857/S1028096023010181
- Аннотация: Плотность распределения дефектов достигает максимума на глубине, которая зависит от энергии и массы иона. Эта глубина уменьшается с увеличением угла падения из-за многократного рассеяния первичных ионов в поверхностных слоях мишени. С увеличением массы иона максимальная плотность дефектов увеличивается по степенному закону. Асимметрия максимума в распределении дефектов по глубине связана с увеличением упругих потерь энергии при замедлении иона и уменьшением коэффициента прохождения ионов при увеличении глубины слоя.
- Добавил в систему: Широкова Алла Анатольевна