Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Cobalt subtractive etch for advanced interconnects
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Amirov I.
,
Rudenko K.
Журнал:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Номер:
12157
Год издания:
2022
Издательство:
SPIE, the International Society for Optical Engineering
Местоположение издательства:
Bellingham, WA, United States
Номер статьи:
1215718
DOI:
10.1117/12.2624333
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич