Аннотация:Проведено облучение кремниевых нанонитей ионами Ar+ c энергией 250 keV и флюенсами от 1Е13 до 1Е16 сm−2. Методом комбинационного рассеяния света исследована зависимость степени разупорядоченности структуры под действием ионного облучения от флюенса. Показано, что аморфизация пористого кремния происходит при больших значениях числа смещений на атом, чем в тонких пленках кремния.