Аннотация:Исследовано влияние чистящей D2–(2–4) моль % N2 плазмы тлеющего разряда на отражательную способность монокристаллических зеркал Мо(111). Поверхность каждого зеркала готовилась механической полировкой алмазными пастами или свободным алмазным порошком. Полировка зеркал сопровождалась формированием слоя материала толщиной до 3 мкм, отличного по структуре от остального объема металла. Особенностью этого слоя являлось постепенное, по мере удаления от поверхности зеркала, совершенствование его структуры и переход от аморфного слоя к слою с нанометровыми размерами кристаллитов и далее к постепенной трансформации в структуру неразрушенного монокристалла. При полировке происходило вдавливание алмазного абразива в поверхностный слой зеркала. В процессе плазменной чистки вдавленные в поверхностный слой зеркала углеродные частицы инициировали развитие отрицательной шероховатости (ямок или углублений). Одновременно формировался слой нитрида молибдена, толщиной 5–10 нм. В разупорядоченных слоях зеркал вероятность процесса зарождения и роста блистеров была понижена. В качестве металла, изменяющего коэффициент полного отражения Мо, был выбран алюминий. Использование смеси D2–N2 для повышения скорости распыления Al на последнем этапе чистки заменялось плазменной экспозицией в дейтерии ионами D3+, инициирующими диссоциацию нитрида молибдена и удаление азота из поверхностного слоя зеркала. В результате длительного плазменного воздействия отражательная способность зеркал, полированных алмазной пастой увеличивалась до стационарного значения близкого к отражению от эталонного зеркала.