Optical Emission Imaging and Modelling Investigations of Microwave Activated SiH4/H2 and SiH4/CH4/H2 Plasmasстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 12 августа 2020 г.