|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Формирование и диагностика элементов кремниевой фотоникитезисы доклада
- Авторы: Байдакова Н.А., Красильник З.Ф., Кудрявцев К.Е., Лукичев В.Ф., Морозова Е.Е., Новиков А.В., Орликовский Н.А., Сергеев С.М., Скороходов Е.В., Степихова М.В., Татаринцев А.А.
- Сборник: Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016»
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Первая страница: 167
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич