Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016»сборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2016 Формирование и диагностика элементов кремниевой фотоники
  • Байдакова Н.А., Красильник З.Ф., Кудрявцев К.Е., Лукичев В.Ф., Морозова Е.Е., Новиков А.В., Орликовский Н.А., Сергеев С.М., Скороходов Е.В., Степихова М.В., Татаринцев А.А.
  • в сборнике Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016», тезисы, с. 167