Структурные исследования гелиевых пор-пузырей в приповерхностных слоях кремния после плазменно-иммерсионной ионной имплантациистатья

Работа с статьей


[1] Ломов А. А., Чесноков Ю. М., Орешко А. П. Структурные исследования гелиевых пор-пузырей в приповерхностных слоях кремния после плазменно-иммерсионной ионной имплантации // Труды XXVI Международной конференции "Радиационная физика твердого тела". — ФГБНУ НИИ ПМТ Москва, 2016. — С. 94–101.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть