Оценка параметров мишени в РЭМ на основе количественной модели взаимодействия пучка с веществомстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:
Предложен новый подход к решению задач анализа и интерпретации видеосигналов РЭМ и других микрозондовых приборов, основанный на морфологическом анализе изображений, теории измерительно-вычислительных систем сверхвысокого разрешения и количественной модели взаимодействия электронов пучка с веществом, учитывающей различные каналы взаимодействия. Проиллюстрирована эффективность применения предложенных методов.
URL: http://vmu.phys.msu.ru/abstract/2002/3/02-3-32
УДК: 519.95:537.533