Область научных интересов

Образование

  • 1984 к.т.н. Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов больших интегральных схем.
  • 1966–1973 Специалитет Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Прикладной математики (Прикладная математика)

Результаты деятельности

Соавторы: Коваленко И.Б., Ризниченко Г.Ю., Устинин Д.М., Докукина И.В., Абатурова А.М., Чуличков А.И., Рубин А.Б., Черёмухин Е.А., Борисов С.С., Цуканов А.А., Зайцев С.И., Князева О.С., Громов П.А., Кисиль С.И., Грачева М.Е., Ивонин Д.А., Негуляев Н.Н., Ямашев М.В., Кузьмин И.Ю., Бикулов Д.А., Грачев Н.Е., Гришин П.А., Чернявский М.В., Макаров С.С., Сердобольская М.Л., Тимошенко В.В., Калнин Т.Г., Федотов А.Б., Abrosimov A.T., Gromov P.A., Антал Т.К., Губский Л.В., Исаева А.В., Мисютина Т.С., Морковкин А.И., Самарина Е.А., Тилинова О.М., Цыганков В.Ю., Шеин Е.В., Шеляго Е.В., Язынина И.В., Gunton J.D., Rotkin S.V., Абросимов К.Н., Акифьев А.А., Блошенко А.В., Богданкевич Н.М., Веремко Н.А., Горбатиков А.В., Дьяконова А.Н., Зайцев С.И., Илинова С.А., Калабухов Д.И., Калашников А.О., Кочетов А.Г., Кренделева Т.Е., Кукарских Г.П., Мартышина А.В., Мурашев В.Э., Ошарин О.В., Потемкин С.Б., Рыбалко В.В., Саратов А.А., Сенин Д.С., Смирнов А.С., Сорокина Н.В., Тимофеев К.Н., Babin S., Galkina P.A., Gutmanas E.Y., Kalashnikov A., Manukovskaya D., Negulyaev N.N., Ocola L.E., Oreshkin A.A., Puller V.I., Snyder S.E., Zernyuk A., Акифьев A.A., Гудцов П.С., Дембовецкий А.В., Джебраилова Ю.Н., Докукин М.Е., Захаров А.М., Иванов Н.Ю., Камали Д.М., Кафафов А.А., Кольцов Д., Лукашенко А.Т., Мануковская Д.В., Мануковская Д.В., Митин И.В., Перов Н.С., Плюснина Т.Ю., Полина Г.Ю., Ржевский В.В., Романов А.И., Савина К.Н., Савина К.Н., Савина К., Самарина Т.О., Сержан Б.Л., Скрипка Е.М., Стахневич В.В., Сумин А.А., Тананаев И.Г., Умарова А.Б., Федорова О.В., Хрущев С.С., матвеева т.в.