Аннотация:Теоретически изучаются плазмохимические газофазные и гетерогенные процессы образования и гибели озона в барьерном разряде в кислороде атмосферного давления. Проведены численные расчеты плазмохимической и электронной кинетики на стадии развития и распада одиночного плазменного шнура с учетом и без учета эффектов колебательного возбуждения озона и высокой начальной концентрации озона. Разработанный аналитический подход был применен для определения выходных концентраций озона с учетом его гетерогенной гибели на поверхности Al2O3 диэлектрика. По результатам квантово-механических расчетов методом теории функционала плотности предложен многостадийный каталитический механизм гетерогенной гибели озона с первоначальной пассивацией озоном чистой Al2O3 поверхности и последующим взаимодействием молекул O3 с пассивированной поверхностью. Показано, что реакционная конверсия 2O3 3O2 молекулы озона из газовой фазы с физически адсорбированной молекулой озона может быть вероятной причиной насыщения максимальных достижимых концентраций озона при высоких удельных энерговкладах, нестационарности выходных концентраций озона и их зависимости от предыстории работы озонатора.