|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Controlling plasma composition during carbon film deposition in microwave discharges by means of optical-emission spectroscopyстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Dvorkin V.V., Dzbanovskii N.N., Minakov P.V., Suetin N.V., Yur’ev A.Y.
- Журнал: Plasma Physics Reports
- Том: 29
- Номер: 9
- Год издания: 2003
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 789
- Последняя страница: 795
- DOI: 10.1134/1.1609583
- Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович