Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
открыть новую версию профиля
Минаков Павел Владимирович
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, научный сотрудник, с 1 июля 2021
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, старший научный сотрудник, 1 апреля 1996 - 16 ноября 2015
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, главный специалист, 6 февраля 2018 - 1 июля 2021
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, главный специалист, 1 февраля 2016 - 5 февраля 2018, по совместительству
Соавторы:
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Сень В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Поройков А.Ю.
,
Ilichev E.A.
,
Petrukhin G.
,
Petrukhin G.N.
,
Rychkov G.S.
,
Seleznev B.V.
,
Teverovskaya E.G.
,
Yur’ev A.Y.
,
Кривченко В.А.
показать полностью...
,
Рычков Г.С.
,
Belousov M.E.
,
Bespalov V.A.
,
Dong Z.C.
,
Gavrilov A.
,
Il’Ichev E.
,
Il’ichev E.
,
Khaustov V.
,
Kirpilenko G.G.
,
Kozlitin A.I.
,
Kuklev S.V.
,
Kuleshov A.
,
Kuleshov A.E.
,
Migunov D.
,
Nabiev R.
,
Paхимoв A.T.
,
Pirogov V.G.
,
Saraikin V.V.
,
Teverovskaya E.
,
Борисов В.В.
,
Дворкин В.В.
,
Ильичёв Э.А.
,
Кулешов А.Е.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Назаров В.С.
,
Паль А.Ф.
,
Пилевский А.А.
,
Поpoйкoв A.Ю.
,
Селезнев Б.В.
,
Теверовская Е.Г.
,
Трифонов А.С.
17 статей
,
4 доклада на конференциях
,
17 НИР
,
4 патента
,
7 дипломных работ
,
6 курсовых работ
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 46, Scopus: 51
IstinaResearcherID (IRID): 1576093
ResearcherID:
I-7201-2012
Scopus Author ID:
6508285079
ORCID:
0000-0001-8137-4466
Деятельность
Статьи в журналах
2021
Diamond Photocathodes As Field-Emission Electrodes for Vacuum Microelectronics
Ilichev E.A.
,
Kuleshov A.E.
,
Petrukhin G.N.
,
Minakov P.V.
,
Rychkov G.S.
,
Sen V.V.
,
Teverovskaya E.G.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 47, № 5, с. 478-481
DOI
2021
Image converter tubes with diamond photocathodes and electron flow multipliers
Bespalov V.A.
,
Ilichev E.A.
, Kazakov I.P.,
Kirpilenko G.G.
,
Kozlitin A.I.
,
Minakov P.V.
,
Saraikin V.V.
, Klekovkin A.V.,
Kuklev S.V.
,
Petrukhin G.N.
,
Rychkov G.S.
, Sokolov D.S.,
Teverovskaya E.G.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 120, с. 108603
DOI
2021
Алмазные фотокатоды как полевые катоды для вакуумной микроэлектроники
Ильичев Э.А.
,
Кулешов А.Е.
,
Петрухин Г.Н.
,
Минаков П.В.
,
Рычков Г.С.
,
Сень В.В.
,
Теверовская Е.Г.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 47, № 10, с. 3
DOI
2019
Analysis and experimental research on graphene’s electron transparency and its application for the development of micro- and nanoelectronic devices
Il’ichev E.
,
Khaustov V.
,
Kuleshov A.
,
Migunov D.
,
Minakov P.
,
Nabiev R.
,
Petrukhin G.
,
Teverovskaya E.
,
Rychkov G.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 94, с. 209-217
DOI
2012
Boron-doped Homoepitaxial Diamond CVD from Microwave Plasma-Activated Ethanol/Trimethyl Borate/Hydrogen Mixtures
Belousov M.E.
,
Mankelevich Yu A.
,
Minakov P.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
, Khmelnitskiy R.A., Tal A.A., Khomich A.V.
в журнале
Chemical Vapor Deposition
, издательство
John Wiley & Sons Ltd.
(United Kingdom)
, том 18, № 10-12, с. 302-308
DOI
2012
Electron flux amplifier on diamond-coated silicon grating
Belousov M.E., Il'ichev E.A., Kuleshov A.E., Metveeva N.K.,
Minakov P.V.
, Petrukhin G.N., Nabiev R.M., Rychkov G.S.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 38, № 3, с. 276-278
DOI
2012
Mask for micropattern formation on diamond films
Belousov M.E., Il’ichev E.A., Kuleshov A.E., Matveeva N.K.,
Minakov P.V.
, Petrukhin G.N., Nabiev R.M., Rychkov G.S.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 38, № 3, с. 225-227
DOI
2012
Нанокристаллический графит - перспективный автоэмиссионный материал
Минaкoв П.B.
,
Поpoйкoв A.Ю.
,
Paхимoв A.T.
,
Сень B.B.
в журнале
Интеграл
, издательство
Энергоинвест
(М.)
, том 3, № 65, с. 9-11
2012
Нанокристаллический графит - перспективный автоэмиссионный материал
Минаков П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
,
Сень В.В.
в журнале
Интеграл
, издательство
Энергоинвест
(М.)
, № 3 (65), с. 14-16
2009
Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MW PE CVD
Belousov M.E.,
Krivchenko V.A.
,
Minakov P.V.
,
Pal A.F.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Sen V.V.
в журнале
ECS Transactions
, издательство
Electrochemical Society, Inc.
(United States)
, том 25, № 8 PART 1, с. 257-263
DOI
2009
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С КАТОДОВ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНОЙ НАНОСТРУКТУРЫ В СВЕРХВЫСОКО ЧАСТОТНЫХ ПОЛЯХ КОРОТКОГО САНТИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ДЛИН ВОЛН
Гузилов И.А., Костин А.В., Масленников О.Ю., Ничипоренко В.О., Калинин М.В.,
Назаров В.С.
,
Борисов В.В.
,
Минаков П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
,
Селезнев Б.В.
в журнале
Журнал радиоэлектроники
, издательство
Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук
(Москва)
, № 9
2007
Study of Polycrystalline Boron-Doped Diamond Films by Raman Spectroscopy and Optical Absorption Spectroscopy
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Minakov P.V.
,
Pirogov V.G.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 52, № 11, с. 1471-1474
DOI
2005
High-current electron gun with a field-emission cathode and diamond grid
Dzbanovskii N.N.
,
Minakov P.V.
,
Pilevskii A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Seleznev B.V.
,
Suetin N.V.
,
Yur’ev A.Y.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 10, с. 1360-1362
2004
Electroluminescence of diamond films induced by a scanning tunneling microscope
Dong Z.C.
,
Trifonov A.S.
,
Suetin N.V.
,
Minakov P.V.
в журнале
Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 549, № 3, с. 203-210
DOI
2004
Electron flow enhancement with a diamond membrane
Gavrilov S.A.
,
Dzbanovsky N.N.
,
Il’ichev E.A.
,
Minakov P.V.
, Poltoratsky E.A., Rychkov G.S.,
Suetin N.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 49, № 1, с. 108-113
DOI
2003
Controlling plasma composition during carbon film deposition in microwave discharges by means of optical-emission spectroscopy
Dvorkin V.V.
,
Dzbanovskii N.N.
,
Minakov P.V.
,
Suetin N.V.
,
Yur’ev A.Y.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 29, № 9, с. 789-795
DOI
Статьи в сборниках
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Guzilov I.A., Kuzmich K.V., Maslennikov O.Yu, Smirnova E.V.,
Minakov P.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimov A.T.
,
Seleznev B.V.
,
Sen V.V.
в сборнике
2009 IEEE INTERNATIONAL VACUUM ELECTRONICS CONFERENCE
, серия
IEEE International Vacuum Electronics Conference IVEC
, место издания
IEEE
, с. 289-290
DOI
Доклады на конференциях
2012
Автоэмиссионный нейтрализатор объемного заряда ионного потока – средство повышения экономичности электроракетных двигателей
(Пленарный)
Авторы:
Минаков П.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Поройков А.Ю.
,
Сень В.В.
Международная конференция «Будущее электрических ракетных двигателей. Вызовы ракетно-космической промышленности. Экологичность и экономичность»
, Москва, Россия, 7 сентября 2012
2009
Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MWPECVD.
Авторы:
Belousov M.E.
,
Кривченко В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Сень В.В.
,
Минаков П.В.
,
Суетин Н.В.
EuroCVD-17 (The 17-th European CVD conference)
, Vienna, Austria, Австрия, 2009
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Авторы:
Сень В.В.
,
Maslennikov O.Y.
,
Smirnova E.V.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
,
Селезнев Б.В.
,
Kuzmich K.V.
,
Минаков П.В.
,
Guzilov I.A.
10th International Vacuum Electronics Conference
, Rome, Italy, Италия, 2009
1999
Electric Field Enhanced Secondary Electron Emission from B doped Diamond Membranes
Авторы:
Паль А.Ф.
,
Суетин Н.В.
,
Дворкин В.В.
,
Минаков П.В.
,
Дзбановский Н.Н.
1st European Field Emission Workshop (EUROFE’1999)
, Toledo, Spain, Испания, 1999
НИРы
27 сентября 2023 - 20 декабря 2023
Проведение экспериментально-теоретических исследований работы технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади в различных режимах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Минаков П.В.
Участники НИР:
Гальперина Т.Е.
,
Пилевский А.А.
,
Самородов В.А.
,
Удалов В.Н.
,
Чумичев Е.А.
,
Шевнин П.Л.
17 октября 2022 - 18 ноября 2022
Разработка и изготовление образцов катодно-сеточного узла (КСУ) на базе НКГ автокатода
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Минаков П.В.
Ответственный исполнитель:
Шевнин П.Л.
Участник НИР:
Пилевский А.А.
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
10 марта 2022 - 15 декабря 2022
Разработка базовой конструкции технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Минаков П.В.
Ответственный исполнитель:
Пилевский А.А.
Участники НИР:
Гальперина Т.Е.
,
Самородов В.А.
21 апреля 2021 - 31 мая 2021
«Получение алмазных поликристаллических пленок, легированных бором»
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Минаков П.В.
,
Чеботарева А.Б.
,
Шевнин П.Л.
11 января 2021 - 14 декабря 2021
Разработка базовой конструкции многомагнетроной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Минаков П.В.
Ответственный исполнитель:
Пилевский А.А.
Участники НИР:
Гальперина Т.Е.
,
Самородов В.А.
3 августа 2020 - 15 декабря 2020
Разработка технического предложения по конструкции много-магнетроной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Минаков П.В.
Участники НИР:
Гальперина Т.Е.
,
Пилевский А.А.
,
Самородов В.А.
3 декабря 2018 - 3 декабря 2021
Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Минаков П.В.
,
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
14 октября 2013 - 7 декабря 2013
Разработка и исследование наноструктурированных материалов с трехмерной архитектурой поверхности для тонкопленочных литий-ионных батарей нового поколения
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Кривченко В.А.
Участники НИР:
Воронин П.В.
,
Зырянов С.М.
,
Иткис Д.М.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Семененко Д.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В.
,
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
КЛАВДИЕВ В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
1 декабря 2010 - 15 ноября 2012
Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
Патенты
2023
СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР
Авторы:
Субботин Роман Сергеевич
,
Удалов Валентин Николаевич
,
Минаков Павел Владимирович
#RU2804043C1, 26 сентября
2022
СИСТЕМА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВ ЛЕТУЧИХ ПРЕКУРСОРОВ
Авторы:
Шароваров Дмитрий Игоревич
,
Кауль Андрей Рафаилович
,
Коблов Андрей Викторович
,
Минаков Павел Владимирович
,
Нигаард Рой Роевич
#RU2767915, 22 марта
2014
СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОБЪЕМНОГО ЗАРЯДА ИОННОГО ПОТОКА
Авторы:
Дворкин Владимир Владимирович
,
Манкелевич Юрий Александрович
,
Минаков Павел Владимирович
,
Поройков Александр Юрьевич
,
Рахимов Александр Турсунович
,
Сень Василий Васильевич
,
Ястребов Александр Александрович
#2520270, 20 июня
2003
Усилитель электронного потока
Авторы:
Гаврилов С.А.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Ильичев Э.А.
,
Куклев С.В.
,
Минаков П.В.
,
Полторацкий Э.А.
,
Рычков Г.С.
,
Соколов Д.С.
,
Суетин Н.В.
#RU2221309C2, 10 февраля
Руководство дипломными работами
2023
ИЗУЧЕНИЕ АЛМАЗНЫХ НАНОЧАСТИЦ ОБРАЗУЮЩИХСЯ В ПЛАЗМЕ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В ПРОЦЕССЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Кириллов Егор Андреевич (Бакалавр)
2017
Теоретическое и экспериментальное исследование тлеющего разряда в процессе роста углеродных пленок
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Загребельный Д.В., (Магистр)
2017
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭМИССИОННЫХ СВОЙСТВ КАТОДОВ ИЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ГРАФИТА
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Бавижев Заур Рамазанович (Магистр)
2017
ИССЛЕДОВАНИЕ СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ
Научный руководитель:
Минаков П.В.
Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Магистр)
2017
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ЦЕНТРОВ НУКЛЕАЦИИ В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ С ВЫСОКОЧАСТОТНЫМ СМЕЩЕНИЕМ
Научные руководители:
Минаков П.В.
,
Сень В.В.
Автор: Баскаков Александр Александрович (Магистр)
2015
ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТА АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ
Научный руководитель:
Минаков П.В.
Автор: Баскаков Александр Александрович (Бакалавр)
2015
ИССЛЕДОВАНЕ ЭМИССИОННЫХ СВОЙСТВ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ УГЛЕРОДНЫХ ЭМИТТЕРОВ НА МАЛЫХ ЗАЗОРАХ
Научный руководитель:
Минаков П.В.
Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Бакалавр)
Руководство курсовыми работами
2022
Изучение работы магнетронов и элементов волноводного тракта
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Егор Андреевич Кириллов (Бакалавр)
2022
Изучение алмазных наночастиц, образующихся в плазме СВЧ разряда в процессе осаждения алмазных пленок из газовой фазы
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Кириллов Егор Андреевич (Бакалавр)
2016
Исследование процесса формирования центров нуклеации методом BEN на трехмагнетронной СВЧ установке осаждения АП
Научный руководитель:
Минаков П.В.
Автор: Баскаков Александр Александрович (Магистр)
2016
Исследование осаждения АП в непрерывном и импульсно-периодическом режиме на трехмагнетронной СВЧ установке
Научный руководитель:
Минаков П.В.
Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Магистр)
2015
Исследование процессов сверхглубокого травления полупроводников в двухчастотном разряде
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Загребельный Д.В., (Магистр)
2015
Исследование автоэлектронной эмиссии НКГ автокатода
Научные руководители:
Рахимов А.Т.
,
Минаков П.В.
Автор: Бавижев Заур Рамазанович (Магистр)