ИСТИНА

Минаков Павел Владимирович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, научный сотрудник, с 1 июля 2021

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Рахимов А.Т., Суетин Н.В., Сень В.В., Дзбановский Н.Н., Поройков А.Ю., Ilichev E.A., Petrukhin G., Petrukhin G.N., Rychkov G.S., Seleznev B.V., Teverovskaya E.G., Yur’ev A.Y., Кривченко В.А. показать полностью..., Рычков Г.С., Belousov M.E., Bespalov V.A., Dong Z.C., Gavrilov A., Il’Ichev E., Il’ichev E., Khaustov V., Kirpilenko G.G., Kozlitin A.I., Kuklev S.V., Kuleshov A., Kuleshov A.E., Migunov D., Nabiev R., Paхимoв A.T., Pirogov V.G., Saraikin V.V., Teverovskaya E., Борисов В.В., Дворкин В.В., Ильичёв Э.А., Кулешов А.Е., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Назаров В.С., Паль А.Ф., Пилевский А.А., Поpoйкoв A.Ю., Селезнев Б.В., Теверовская Е.Г., Трифонов А.С.

17 статей, 4 доклада на конференциях, 17 НИР, 4 патента, 7 дипломных работ, 6 курсовых работ

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 46, Scopus: 51

IstinaResearcherID (IRID): 1576093

ResearcherID: I-7201-2012

Scopus Author ID: 6508285079

ORCID: 0000-0001-8137-4466

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2021 Diamond Photocathodes As Field-Emission Electrodes for Vacuum Microelectronics
    • Ilichev E.A., Kuleshov A.E., Petrukhin G.N., Minakov P.V., Rychkov G.S., Sen V.V., Teverovskaya E.G.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 47, № 5, с. 478-481 DOI
  • 
    • 2021 Image converter tubes with diamond photocathodes and electron flow multipliers
    • Bespalov V.A., Ilichev E.A., Kazakov I.P., Kirpilenko G.G., Kozlitin A.I., Minakov P.V., Saraikin V.V., Klekovkin A.V., Kuklev S.V., Petrukhin G.N., Rychkov G.S., Sokolov D.S., Teverovskaya E.G.
    • в журнале Diamond and Related Materials, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 120, с. 108603 DOI
  • 
    • 2021 Алмазные фотокатоды как полевые катоды для вакуумной микроэлектроники
    • Ильичев Э.А., Кулешов А.Е., Петрухин Г.Н., Минаков П.В., Рычков Г.С., Сень В.В., Теверовская Е.Г.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук (Москва), том 47, № 10, с. 3 DOI
  • 
    • 2019 Analysis and experimental research on graphene’s electron transparency and its application for the development of micro- and nanoelectronic devices
    • Il’ichev E., Khaustov V., Kuleshov A., Migunov D., Minakov P., Nabiev R., Petrukhin G., Teverovskaya E., Rychkov G.
    • в журнале Diamond and Related Materials, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 94, с. 209-217 DOI
  • 
    • 2012 Boron-doped Homoepitaxial Diamond CVD from Microwave Plasma-Activated Ethanol/Trimethyl Borate/Hydrogen Mixtures
    • Belousov M.E., Mankelevich Yu A., Minakov P.V., Rakhimov A.T., Suetin N.V., Khmelnitskiy R.A., Tal A.A., Khomich A.V.
    • в журнале Chemical Vapor Deposition, издательство John Wiley & Sons Ltd. (United Kingdom), том 18, № 10-12, с. 302-308 DOI
  • 
    • 2012 Electron flux amplifier on diamond-coated silicon grating
    • Belousov M.E., Il'ichev E.A., Kuleshov A.E., Metveeva N.K., Minakov P.V., Petrukhin G.N., Nabiev R.M., Rychkov G.S.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 38, № 3, с. 276-278 DOI
  • 
    • 2012 Mask for micropattern formation on diamond films
    • Belousov M.E., Il’ichev E.A., Kuleshov A.E., Matveeva N.K., Minakov P.V., Petrukhin G.N., Nabiev R.M., Rychkov G.S.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 38, № 3, с. 225-227 DOI
  • • 2012 Нанокристаллический графит - перспективный автоэмиссионный материал
    • Минaкoв П.B., Поpoйкoв A.Ю., Paхимoв A.T., Сень B.B.
    • в журнале Интеграл, издательство Энергоинвест (М.), том 3, № 65, с. 9-11
  • 
    • 2012 Нанокристаллический графит - перспективный автоэмиссионный материал
    • Минаков П.В., Поройков А.Ю., Рахимов А.Т., Сень В.В.
    • в журнале Интеграл, издательство Энергоинвест (М.), № 3 (65), с. 14-16
  • 
    • 2009 Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MW PE CVD
    • Belousov M.E., Krivchenko V.A., Minakov P.V., Pal A.F., Rakhimov A.T., Suetin N.V., Sen V.V.
    • в журнале ECS Transactions, издательство Electrochemical Society, Inc. (United States), том 25, № 8 PART 1, с. 257-263 DOI
  • 
    • 2009 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С КАТОДОВ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНОЙ НАНОСТРУКТУРЫ В СВЕРХВЫСОКО ЧАСТОТНЫХ ПОЛЯХ КОРОТКОГО САНТИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ДЛИН ВОЛН
    • Гузилов И.А., Костин А.В., Масленников О.Ю., Ничипоренко В.О., Калинин М.В., Назаров В.С., Борисов В.В., Минаков П.В., Поройков А.Ю., Рахимов А.Т., Селезнев Б.В.
    • в журнале Журнал радиоэлектроники, издательство Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Москва), № 9
  • 
    • 2007 Study of Polycrystalline Boron-Doped Diamond Films by Raman Spectroscopy and Optical Absorption Spectroscopy
    • Krivchenko V.A., Lopaev D.V., Minakov P.V., Pirogov V.G., Rakhimov A.T., Suetin N.V.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 52, № 11, с. 1471-1474 DOI
  • 
    • 2005 High-current electron gun with a field-emission cathode and diamond grid
    • Dzbanovskii N.N., Minakov P.V., Pilevskii A.A., Rakhimov A.T., Seleznev B.V., Suetin N.V., Yur’ev A.Y.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 50, № 10, с. 1360-1362
  • 
    • 2004 Electroluminescence of diamond films induced by a scanning tunneling microscope
    • Dong Z.C., Trifonov A.S., Suetin N.V., Minakov P.V.
    • в журнале Surface Science, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 549, № 3, с. 203-210 DOI
  • 
    • 2004 Electron flow enhancement with a diamond membrane
    • Gavrilov S.A., Dzbanovsky N.N., Il’ichev E.A., Minakov P.V., Poltoratsky E.A., Rychkov G.S., Suetin N.V.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 49, № 1, с. 108-113 DOI
  • 
    • 2003 Controlling plasma composition during carbon film deposition in microwave discharges by means of optical-emission spectroscopy
    • Dvorkin V.V., Dzbanovskii N.N., Minakov P.V., Suetin N.V., Yur’ev A.Y.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 29, № 9, с. 789-795 DOI

• Статьи в сборниках

  • 
    • 2009 Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
    • Guzilov I.A., Kuzmich K.V., Maslennikov O.Yu, Smirnova E.V., Minakov P.V., Poroykov A.Yu, Rakhimov A.T., Seleznev B.V., Sen V.V.
    • в сборнике 2009 IEEE INTERNATIONAL VACUUM ELECTRONICS CONFERENCE, серия IEEE International Vacuum Electronics Conference IVEC, место издания IEEE, с. 289-290 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2012 Автоэмиссионный нейтрализатор объемного заряда ионного потока – средство повышения экономичности электроракетных двигателей (Пленарный)
    • Авторы: Минаков П.В., Рахимов А.Т., Поройков А.Ю., Сень В.В.
    • Международная конференция «Будущее электрических ракетных двигателей. Вызовы ракетно-космической промышленности. Экологичность и экономичность», Москва, Россия, 7 сентября 2012
  • • 2009 Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MWPECVD.
    • Авторы: Belousov M.E., Кривченко В.А., Паль А.Ф., Рахимов А.Т., Сень В.В., Минаков П.В., Суетин Н.В.
    • EuroCVD-17 (The 17-th European CVD conference), Vienna, Austria, Австрия, 2009
  • • 2009 Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
    • Авторы: Сень В.В., Maslennikov O.Y., Smirnova E.V., Поройков А.Ю., Рахимов А.Т., Селезнев Б.В., Kuzmich K.V., Минаков П.В., Guzilov I.A.
    • 10th International Vacuum Electronics Conference, Rome, Italy, Италия, 2009
  • • 1999 Electric Field Enhanced Secondary Electron Emission from B doped Diamond Membranes
    • Авторы: Паль А.Ф., Суетин Н.В., Дворкин В.В., Минаков П.В., Дзбановский Н.Н.
    • 1st European Field Emission Workshop (EUROFE’1999), Toledo, Spain, Испания, 1999

• НИРы

  • • 27 сентября 2023 - 20 декабря 2023 Проведение экспериментально-теоретических исследований работы технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади в различных режимах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Минаков П.В. Участники НИР: Гальперина Т.Е., Пилевский А.А., Самородов В.А., Удалов В.Н., Чумичев Е.А., Шевнин П.Л.
  • • 17 октября 2022 - 18 ноября 2022 Разработка и изготовление образцов катодно-сеточного узла (КСУ) на базе НКГ автокатода
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Минаков П.В. Ответственный исполнитель: Шевнин П.Л. Участник НИР: Пилевский А.А.
  • • 22 апреля 2022 - 30 сентября 2023 Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кропоткин А.Н., Прошина О.В., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Зиганшин И.И., Кожин В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Поройков А.Ю., Скурихин А.В., Чукаловский А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 10 марта 2022 - 15 декабря 2022 Разработка базовой конструкции технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Минаков П.В. Ответственный исполнитель: Пилевский А.А. Участники НИР: Гальперина Т.Е., Самородов В.А.
  • • 21 апреля 2021 - 31 мая 2021 «Получение алмазных поликристаллических пленок, легированных бором»
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Минаков П.В., Чеботарева А.Б., Шевнин П.Л.
  • • 11 января 2021 - 14 декабря 2021 Разработка базовой конструкции многомагнетроной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Минаков П.В. Ответственный исполнитель: Пилевский А.А. Участники НИР: Гальперина Т.Е., Самородов В.А.
  • • 3 августа 2020 - 15 декабря 2020 Разработка технического предложения по конструкции много-магнетроной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Минаков П.В. Участники НИР: Гальперина Т.Е., Пилевский А.А., Самородов В.А.
  • • 3 декабря 2018 - 3 декабря 2021 Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Минаков П.В., Прошина О.В., Сычева А.А. Участники НИР: Васильева А.Н., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2025 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зиганшин И.И., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шибанов Д.Р., Шкуренков И.А.
  • • 14 октября 2013 - 7 декабря 2013 Разработка и исследование наноструктурированных материалов с трехмерной архитектурой поверхности для тонкопленочных литий-ионных батарей нового поколения
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Кривченко В.А. Участники НИР: Воронин П.В., Зырянов С.М., Иткис Д.М., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Семененко Д.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Аванесов А.В., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., КЛАВДИЕВ В.В., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Пилевский А.А., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 1 декабря 2010 - 15 ноября 2012 Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.

• Патенты

  • • 2023 СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР
    • Авторы: Субботин Роман Сергеевич, Удалов Валентин Николаевич, Минаков Павел Владимирович
    • #RU2804043C1, 26 сентября
  • • 2022 СИСТЕМА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВ ЛЕТУЧИХ ПРЕКУРСОРОВ
    • Авторы: Шароваров Дмитрий Игоревич, Кауль Андрей Рафаилович, Коблов Андрей Викторович, Минаков Павел Владимирович, Нигаард Рой Роевич
    • #RU2767915, 22 марта
  • • 2014 СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОБЪЕМНОГО ЗАРЯДА ИОННОГО ПОТОКА
    • Авторы: Дворкин Владимир Владимирович, Манкелевич Юрий Александрович, Минаков Павел Владимирович, Поройков Александр Юрьевич, Рахимов Александр Турсунович, Сень Василий Васильевич, Ястребов Александр Александрович
    • #2520270, 20 июня
  • • 2003 Усилитель электронного потока
    • Авторы: Гаврилов С.А., Дзбановский Н.Н., Ильичев Э.А., Куклев С.В., Минаков П.В., Полторацкий Э.А., Рычков Г.С., Соколов Д.С., Суетин Н.В.
    • #RU2221309C2, 10 февраля

• Руководство дипломными работами

  • • 2023 ИЗУЧЕНИЕ АЛМАЗНЫХ НАНОЧАСТИЦ ОБРАЗУЮЩИХСЯ В ПЛАЗМЕ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В ПРОЦЕССЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Кириллов Егор Андреевич (Бакалавр)
  • • 2017 Теоретическое и экспериментальное исследование тлеющего разряда в процессе роста углеродных пленок
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Загребельный Д.В., (Магистр)
  • • 2017 ИССЛЕДОВАНИЕ ЭМИССИОННЫХ СВОЙСТВ КАТОДОВ ИЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ГРАФИТА
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Бавижев Заур Рамазанович (Магистр)
  • • 2017 ИССЛЕДОВАНИЕ СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ
    • Научный руководитель: Минаков П.В.
    • Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Магистр)
  • • 2017 ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ЦЕНТРОВ НУКЛЕАЦИИ В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ С ВЫСОКОЧАСТОТНЫМ СМЕЩЕНИЕМ
    • Научные руководители: Минаков П.В., Сень В.В.
    • Автор: Баскаков Александр Александрович (Магистр)
  • • 2015 ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТА АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ
    • Научный руководитель: Минаков П.В.
    • Автор: Баскаков Александр Александрович (Бакалавр)
  • • 2015 ИССЛЕДОВАНЕ ЭМИССИОННЫХ СВОЙСТВ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ УГЛЕРОДНЫХ ЭМИТТЕРОВ НА МАЛЫХ ЗАЗОРАХ
    • Научный руководитель: Минаков П.В.
    • Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Бакалавр)

• Руководство курсовыми работами

  • • 2022 Изучение работы магнетронов и элементов волноводного тракта
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Егор Андреевич Кириллов (Бакалавр)
  • • 2022 Изучение алмазных наночастиц, образующихся в плазме СВЧ разряда в процессе осаждения алмазных пленок из газовой фазы
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Кириллов Егор Андреевич (Бакалавр)
  • • 2016 Исследование процесса формирования центров нуклеации методом BEN на трехмагнетронной СВЧ установке осаждения АП
    • Научный руководитель: Минаков П.В.
    • Автор: Баскаков Александр Александрович (Магистр)
  • • 2016 Исследование осаждения АП в непрерывном и импульсно-периодическом режиме на трехмагнетронной СВЧ установке
    • Научный руководитель: Минаков П.В.
    • Автор: Чумичев Евгений Алексеевич (Магистр)
  • • 2015 Исследование процессов сверхглубокого травления полупроводников в двухчастотном разряде
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Загребельный Д.В., (Магистр)
  • • 2015 Исследование автоэлектронной эмиссии НКГ автокатода
    • Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
    • Автор: Бавижев Заур Рамазанович (Магистр)

---