Small Al cluster ion implantation into Si and 4H-SiCстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 сентября 2019 г.

Работа с статьей


[1] Small al cluster ion implantation into si and 4h-sic / X. Zeng, V. Pelenovich, A. Ieshkin et al. // Rapid Communications in Mass Spectrometry. — 2019. — Vol. 33, no. 18. — P. 1449–1454. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть