Experimental data vs. 3-D model calculations of HFCVD processes: correlations and discrepanciesстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Работа с статьей


[1] Experimental data vs. 3-d model calculations of hfcvd processes: correlations and discrepancies / Y. A. Mankelevich, N. V. Suetin, M. N. Ashfold et al. // Diamond and Related Materials. — 2001. — Vol. 10, no. 3-7. — P. 364–369. An existing 3-D model [Mankelevich et al. Diamond Relat. Mater. 7 (1998) 1133] has been used to explain experimentally measured spatially resolved CH; radical number densities in hot filament CVD reactors operating with both CH4/H-2 and C2H2/H-2 process gas mixtures and to examine in detail the process of Ct tt C, inter-conversion in the gas phase. It has been shown that cooler regions distant from the filament need to be modelled in order to obtain the significant C-2 –> C-1 conversion observed in HFCVD reactors with C2H2/H-2 process gas mixtures. The origin and effect of the non-equilibrated H, molecule vibrational state population distribution are studied for the first time in the context of HFCVD reactor models. (C) 2001 Elsevier Science B.V, All rights reserved. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть