Оптическая литография без маскистатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Белокопытов Г. В., Рыжикова Ю. В. Оптическая литография без маски // Журнал Микроэлектроника. — 2011. — Т. 40, № 6. — С. 453–467. В обзоре анализируются современные фотолитографические системы на пространственных модуляторах света, не использующие фотошаблоны. Обсуждаются принципы построения, примеры реализации систем, а также факторы, ограничивающие их пространственное разрешение и быстродействие.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть