|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Микроэлектроникажурнал
Индексирование:
Список ВАК (1 января 1970 г.-),
Scopus (1 января 2002 г.-31 декабря 2007 г.),
Список РИНЦ (1 января 1970 г.-),
Журналы РФ в RSCI WoS (1 января 1970 г.-),
Журналы РФ в RSCI WoS (1 июля 2018 г.-),
Белый список (20 октября 2022 г.-)
Период активности журнала:
не указан
- Другие названия журнала: Микроэлектроника, Микроэлектроника
- Сайт журнала: http://www.ftian.ru/journals/mikelek/
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
-
Аннотация:
Журнал Микроэлектроника основан в 1972 г. Он посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые приборы, квантовые биты (кубиты). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.
- ISSN: 0544-1269 (Print)
Статьи, опубликованные в журнале
-
- 2023 БЫСТРЫЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ МИКРОНАСОС ДЛЯ ПОРТАТИВНОГО МОДУЛЯ ДОСТАВКИ ЛЕКАРСТВ
- Уваров И.В., Шлепаков П.С., Абрамычев А.М., Световой В.Б.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 52, № 3, с. 227-235 DOI
-
- 2023 О влиянии малых добавок F2, H2 и HF на концентрации активных частиц в плазме тетрафторметана
- Ефремов А.М., Смирнов С.А., Бетелин В.Б.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 52, № 5, с. 383-389 DOI
-
- 2023 Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SIO2 и Si3N4 в смеси HBr/Cl2/Ar
- Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.H.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 52, № 2, с. 152-159 DOI
-
- 2023 ТОМОГРАФИИ ДЕТЕКТОРОВ С УЧЕТОМ МЕРТВОГО ВРЕМЕНИ
- Богданов Ю.И., Катамадзе К.Г., Борщевская Н.А., Авосопянц Г.В., Богданова Н.А., Кулик С.П., Лукичев В.Ф.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 52, № 4, с. 249-255 DOI
-
- 2021 ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЕРЕМАГНИЧИВАНИЯ СПИН-ТУННЕЛЬНОГО ПЕРЕХОДА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОДЕЛИ КОГЕРЕНТНОГО ВРАЩЕНИЯ НАМАГНИЧЕННОСТИ СВОБОДНОГО СЛОЯ
- Амеличев В.В., Васильев Д.В., Костюк Д.В., Казаков Ю.В., Касаткин С.И., Поляков О.П., Поляков П.А., Шевцов В.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 50, № 6, с. 461-466 DOI
-
- 2021 Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
- Мяконьких А.В., Шишлянников А.В., Татаринцев А.А., Кузьменко В.О., Руденко К.В., Горнев Е.С.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 5, с. 333-338 DOI
-
- 2021 Тонкопленочные твердотельные литий-ионные аккумуляторы системы LiCoO2/LiPON/Si@O@Al
- Рудый А.С., Мироненко А.А., Наумов В.В., Федоров И.С., Скундин А.М., Торцева Ю.С.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 50, № 5, с. 370-375 DOI
-
- 2021 Экспериментальное исследование влияния пористости тонкопленочных анодов на основе кремния на их зарядно-разрядные характеристики
- Кулова Т.Л., Мазалецкий Л.А., Мироненко А.А., Рудый А.С., Скундин А.М., Торцева Ю.С., Федоров И.С.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 50, № 1, с. 49-57 DOI
-
- 2020 Аморфизация оксидов ванадия при обратимом внедрении лития
- Скундин А.М., Мироненко А.А., Рудый А.С., Фёдоров И.С., Васильев С.В., Мазалецкий Л.А., Торцева Ю.С., Кузнецов О.Е.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 6, с. 442-449 DOI
-
- 2020 Влияние температуры проявления на контраст электронного резиста HSQ
- Татаринцев А.А., Шишлянников А.В., Руденко К.В., Рогожин А.Е., Иешкин А.Е.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 3, с. 163-169 DOI
-
- 2020 Кинетика и механизмы реактивно-ионного травления SI и SIO2 в плазме смеси HBR + O2
- Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.H.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 6, с. 403-408 DOI
-
- 2020 Массивы углеродных нанотрубок в поле непрерывного лазерного излучения
- Афанасьев С.А., Золотовский И.О., Кадочкин А.С., Моисеев С.Г., Светухин В.В., Павлов А.А., Булярский С.В.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 1, с. 18-26 DOI
-
- 2020 Особенности кинетики реактивно-ионного травления SiO2 в фтор-, хлор- и бром-содержащей плазме
- Ефремов А.М., Мурин Д.Б., Бетелин В.Б., Kwon K.H.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 2, с. 101-110 DOI
-
- 2020 Растворимость углерода в никелевом катализаторе при росте углеродных нанотрубок
- Булярский С.В., Кицюк Е.П., Лакалин А.В., Павлов А.А., Рязанов Р.М.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 1, с. 27-32 DOI
-
- 2019 Маршрут топологического синтеза для реконфигурируемых систем на кристалле специального назначения
- Гаврилов С.В., Железников Д.А., Заплетина М.А., Хватов В.М., Чочаев Р.Ж., Эннс В.И.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 48, № 3, с. 211-223 DOI
-
- 2019 Сетевое нейрокогнитивное управление сложноорганизованными структурами с политической компонентой в нечетких информационных средах
- Агеев А.И., Логинов Е.Л., Шкута А.А., Деркач А.К.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), № 5, с. 5-13
-
- 2019 Синтез схемы функционального контроля на основе спектрального R-кода с разбиением выходов на группы
- Тельпухов Д.В., Жукова Т.Д., Деменева А.И., Надоленко В.В., Гуров С.И.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 48, № 4, с. 284-294
-
- 2019 Синтез схемы функционального контроля на основе спектрального R-кода с разбиением выходов на группы
- Стемпковский А.Л., Стемпковский А.Л., Тельпухов Д.В., Тельпухов Д.В., Жукова Т.Д., Жукова Т.Д., Деменева А.И., Надоленко В.В., Надоленко В.В., Гуров С.И.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 48, № 4, с. 284-294
-
- 2018 Зависимость стойкости негативного электронного резиста HSQ от дозы облучения в процессе плазмохимического и химического травления
- Мяконьких А.В., Орликовский Н.А., Рогожин А.Е., Татаринцев А.А., Руденко К.В.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 47, № 3, с. 179-186 DOI
-
- 2018 Магнитно-силовая микроскопия нанопроволок железа и никеля, полученных методом матричного синтеза
- Бизяев Д.А., Бухараев А.А., Хайбуллин Р.И., Лядов Н.М., Загорский Д.Л., Бедин С.А., Долуденко И.М.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 47, № 3, с. 212-221 DOI
-
- 2018 Тонкопленочная платформа для химических газовых сенсоров
- Росляков И.В., Напольский К.С., Столяров В.С., Карпов Е.Е., Ивашев А.В., Суртаев В.Н.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 47, № 4, с. 7-15
-
- 2017 Встраиваемый в технологию процесс CVD-роста УНТ с использованием каталитических тонких пленок Ct–Me–N–O
- Громов Д.Г., Булярский С.В., Дубков С.В., Павлов А.А., Скорик С.Н., Трифонов А.Ю., Шулятьев А.С., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Дудин А.А., Сиротина А.П., Гаврилов С.А.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 46, № 2, с. 83-90 DOI
-
- 2017 Легирование углеродных нанотрубок
- Сауров А.Н., Булярский С.В.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 46, № 1, с. 3-13 DOI
-
- 2017 Моделирование профиля травления высокоаспектных канавок в Si в хлорной плазме
- Шумилов А.С., Амиров И.И., Лукичев В.Ф.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 46, № 5, с. 323-331 DOI
-
- 2017 Формирование и исследование тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов с применением композитного материала анода УНТ-кремний
- Кицюк Е.П., Кулова Т.Л., Павлов А.А., Скундин А.М.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 46, № 2, с. 97-103