Применение “сверхглубокого” облучения быстрыми электронами при создании биполярных структур с наилучшим сочетанием параметров и повышенной радиационной стойкостьютезисы докладаТезисы
Аннотация:Рассмотрены варианты проведения радиационного технологического процесса. Сделан вывод о наибольшей эффективности для улучшения характеристик биполярных приборов и повышения стойкости к различным радиационным воздействиям процесса со "сверхглубоким" облучением