ВЛИЯНИЕ ДЕЙТЕРИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ВОЛЬФРАМА В ДЕЙТЕРИЕВОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДАстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] ВЛИЯНИЕ ДЕЙТЕРИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ВОЛЬФРАМА В ДЕЙТЕРИЕВОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА / В. М. Шарапов, А. М. Зимин, С. Е. Кривицкий и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2015. — № 7. — С. 23.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть