|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ВЛИЯНИЕ ДЕЙТЕРИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ВОЛЬФРАМА В ДЕЙТЕРИЕВОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДАстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Шарапов В.М., Зимин А.М., Кривицкий С.Е., Серушкин С.В., Залавутдинов Р.Х., Куликаускас В.С.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 7
- Год издания: 2015
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 23
- Добавил в систему: Куликаускас Вацловас Станиславович