|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Estimation of specimen parameters in scanning electron microscope on the basis of quantitative model of beam-solid interactionстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 февраля 2016 г.
- Авторы: Borisov S.S., Grachev E.A., Ustinin D.M., Cheremukhin E.A., Chulichkov A.I.
- Журнал: Moscow University Physics Bulletin
- Том: 57
- Номер: 3
- Год издания: 2002
- Издательство: Allerton Press
- Местоположение издательства: New York, N.Y., United States
- Первая страница: 48
- Последняя страница: 52
- Аннотация: A new approach has been suggested for solving the problems of analysis and interpretation of video signals of a scanning electron microscope (SEM) and other microprobe devices based on a morphological analysis of images, the theory of calculating and measuring systems of superhigh resolution and a quantitative model of beam-solid interaction, which takes account of various interaction channels. The efficiency of applying the suggested methods has been shown.
- Добавил в систему: Чуличков Алексей Иванович