|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Определение толщин ультратонких поверхностных плёнок в наноструктурах по энергетическим спектрам отражённых электроновстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Купреенко С.Ю., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Тагаченков А.М., Татаринцев А.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 85
- Номер: 10
- Год издания: 2015
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 101
- Последняя страница: 104
- Аннотация: Рассмотрен новый метод определения толщин оптически непрозрачных пленок на массивных подложках в нанометровом диапазоне размеров. Метод базируется на анализе и измерении энергетических спектров об- ратнорассеянных электронов. Толщины локальных пленочных наноструктур определяются по амплитудным значениям спектров и по их сдвигу на энергетической оси.
- Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Статья | ZhTF-2015.pdf | 381,5 КБ | 6 сентября 2016 [KupreenkoSU] |