|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixturesстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 декабря 2015 г.
- Авторы: Proshina O.V., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Samara V., Baklanov M.R., de Marneffe J-F
- Журнал: Plasma Sources Science and Technology
- Том: 24
- Год издания: 2015
- Издательство: IOP Publishing
- Местоположение издательства: [Bristol, UK], England
- Первая страница: 055006
- DOI: 10.1088/0963-0252/24/5/055006
- Добавил в систему: Прошина Ольга Вячеславовна