|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Solid State Technologyжурнал
Индексирование:
Scopus (1 января 1970 г.-),
JCR (1 января 1970 г.-)
Период активности журнала:
не указан
- Издательство: PennWell Corp.
- Местоположение издательства: United States
- ISSN: 0038-111X (Print)
Статьи, опубликованные в журнале
стиль:
обычный |
ГОСТ |
plain |
abbrv |
acm |
alpha |
amsalpha |
amsplain |
apalike |
ieeetr |
siam
-
- 1997 Wafer dimensional analysis for Chemical Mechanical Planarization
- Golubtsov P., Zhang Y., Wagner L.
- в журнале Solid State Technology, издательство PennWell Corp. (United States), том 40, № 7, с. 179-184