Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
журнал
Индексирование: Scopus (1 января 1970 г.-), JCR (1 января 1970 г.-)
Период активности журнала: 1 января 1983 г.-31 декабря 2008 г.
История журнала:
2009 г.
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
переименован в
Journal of Vacuum Science & Technology B
Другие названия журнала:
Journal of Vacuum Science & Technology B (Microelectronics and Nanometer Structures)
Издательство:
AIP Publishing
Местоположение издательства:
United States
ISSN:
1071-1023 (Print)
Статьи, опубликованные в журнале
Страницы:
<< предыдущая
1
2
следующая >>
1993
Photo and electron-beam lithography sharing common stencil
Krupenin V.A.
,
Lotkhov S.V.
,
Vishenski S.V.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 11, № 6, с. 2132-2136
DOI
Страницы:
<< предыдущая
1
2
следующая >>