ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Данная диссертация посвящена изучению энергетического спектра ионов в реакторах плазмохимического травления. Разработка in situ методов управления составом, потоком и энергией ионов, взаимодействующих с поверхностью, является ключевой задачей для обеспечения высокой степени контроля процесса плазмохимического травления. Цель данной работы – исследовать процессы, происходящие в плазме, которые ответственны за формирование энергетического спектра ионов на поверхности электрода. Акцент ставится на изучение специфических условий реакторов плазмохимического травления. Разработан и проверен метод in situ диагностики ионного потока на электрод. Также исследована зависимость профиля плотности плазмы от процессов, происходящих в предслое и слое, что определяет соотношение между потоком ионов на электрод и плотностью плазмы в центре разряда. Было изучено влияние асимметрии разряда, а также эффект второй частоты на энергетический спектр ионов в двухчастотных ВЧ разрядах. Представлена экспериментальная верификация схемы быстрого расчёта энергетических спектров ионов на основе экспериментально полученной формы напряжения на слое. Проведена верификация численного подхода на основе метода Монте-Карло к получению ионного состава в смесях Ar/H2. Результаты, полученные в ходе данного исследования, могут быть впоследствии использованы для реализации комплекса in situ диагностик ионов в технологическом процессе.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_DS_Bogdanova.pdf | 674,9 КБ | 25 декабря 2019 | |
2. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_ofits._opponeta__A_Aleksandrov_Bogdanova.pdf | 1,3 МБ | 11 декабря 2019 | |
3. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_ofits._opponeta_Aleksandrov_Bogdanova.pdf | 1,4 МБ | 6 декабря 2019 | |
4. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | svedeniya__ob_ofitsialnyih_opponentah_Bogdanova_istina.pdf | 1,3 МБ | 19 ноября 2019 | |
5. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_ofits._opponeta_Amirov_Bogdanova.pdf | 2,2 МБ | 3 декабря 2019 | |
6. | Автореферат | Avtoreferat_Bogdanova_fin.pdf | 745,0 КБ | 12 ноября 2019 | |
7. | Полный текст диссертации | Dissertatsiya_Bogdanova_fin.pdf | 2,8 МБ | 12 ноября 2019 | |
8. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Otzyiv_nauchn_ruk_Bogdanova_istina.pdf | 1,9 МБ | 12 ноября 2019 | |
9. | Сведения о научном руководителе | svedeniya__o_nauchn_rukovoditele_Bogdanova_istina.pdf | 526,4 КБ | 12 ноября 2019 | |
10. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | Protokol_8.pdf | 1,8 МБ | 12 ноября 2019 |