Диссертационный совет Д 212.120.06 при ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет тонких химических технологий имени М.В. Ломоносова»
Не подтверждён
Шифр диссертационного совета:
Д 212.120.06
Организация:
ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет тонких химических технологий имени М.В. Ломоносова»
Кандидатская диссертация по специальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (хим. науки)