|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Технология производства микрочипов с наноразмерными элементамиучебный курс
- Автор: Зырянов Сергей Михайлович
- Год создания: 2015
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Описание: В курсе рассматривается планарная технология производства микрочипов, физические основы процессов формирования структур на поверхности, возникающие проблемы и пути их решения. В курсе объясняются принципы процессов осаждения и травления материалов в плахмохимических реакторах, ионной имплантации и литографии. Также рассматриваются типовые объекты микроэлектроники и особенности их производства: MOSFET, логические элементы, элементы хранения информации.
- Добавил в систему: Зырянов Сергей Михайлович
Преподавание курса
- с 1 февраля 2015 Зырянов Сергей Михайлович
- МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
- обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 36 часов
- Автор: Зырянов Сергей Михайлович